江苏
半导体器件进入封装阶段前，常直接在晶圆上开展高频测试。射频探针用于连通测试仪器与晶圆微小焊盘，是核心测试部件。区别于普通测试探针，其工作频率可覆盖数 GHz 至毫米波频段，探针自身寄生电容、电感以及接触电阻均会对测量结果产生影响。
选型时首先核查焊盘结构。GSG、GS、GSGS 等不同焊盘结构对应不同电路形式，探针针尖间距需要和焊盘间距严格匹配；间距失配会造成接触不良，甚至损伤焊盘。差分电路测试可采用差分探针，或是满足隔离、相位与接地要求的双单端探针组合；直接使用普通单端探针测试差分对，容易引入共模与模式转换误差。探针尖端材料影响接触寿命与接触电阻稳定性，长期使用后测量重复性会逐步下降。
频率范围是第二项关键指标。探针标称频率应高于实际最高测试频率，预留充足余量。工作在接近频率上限时，探针自身损耗与反射会明显恶化。高频测试需要搭配校准基板，SOLT、LRM、LRRM、TRL 等校准方法，依据探针结构、频段与校准基板选择；SOLT 多用于较低频段，LRM、LRRM、TRL 更适合高频与毫米波场景。校准失效会造成 S 参数、增益、噪声系数等测量结果偏移；可采用独立于校准套件的标准件或 Gold 器件辅助核验校准状态，该方式仅作辅助验证。
Pasternack 提供射频探针、校准基板、电缆组件等测试附件可支撑高频链路搭建、信号调理与系统验证。晶圆级测试需要统筹探针台、探针、校准基板与测试电缆，任一环节接触不良都会劣化测试数据。测试前检查探针尖端状态，结合接触电阻进行监测并记录接触次数，规避探针磨损带来的批次数据漂移。
多端口器件测试还需要关注探针座通道一致性与通道间串扰。高频条件下相邻探针耦合效应变强，接地结构设计必须合理。探针台机械稳定性同样关键，接触后微小位移就会引发 S 参数波动。工程上可在相同条件下重复测量，确认读数稳定后再用于器件建模与仿真。
探针压力控制十分重要。压力偏小会增大接触电阻，压力过大易压伤焊盘或者造成探针形变。铝焊盘和金焊盘接触特性存在差异，需要对应调整压力与针尖形态。环境温度变化会引发探针台微形变，高精度测试建议在温湿度受控环境开展。
射频同轴GSG探针，1500 微米间距，DC - 40 GHz，用于对接电缆，2.92mm接口
探针选型还需要结合被测器件功率等级。小信号测试重点关注探针寄生参数与接触重复性；大功率测试需要评估探针与探针座的散热能力。部分高频 MEMS 探针、细针尖探针不适合长期承载大功率，连续测试时严格遵循规格书的功率、电流限额，监测探针温升，必要时降低占空比。探针座至仪器之间的电缆尽量短、固定牢靠，减小长电缆引入的相位漂移与额外损耗。
毫米波测试时，探针与芯片之间的耦合设计需要谨慎处理。GSG 结构应用广泛，但极高频率下接地间距、探针长度都会改变寄生参数。部分芯片或测试结构采用接地共面波导（GCPW）布局，让探针接地和芯片接地实现更好的配合。测试夹具、屏蔽罩以及探针台周边金属构件会改变电磁场分布，调试阶段尽量保持测试环境一致，包含周边金属件位置、屏蔽罩状态。
晶圆表面状态也会影响接触质量。焊盘氧化、污染、残留杂质或者表面粗糙，都会抬高接触电阻，降低测量重复性。测试前确认晶圆清洗工艺稳定，避免不同批次出现系统性偏差。开展可靠性评估时，统计多次接触后的接触电阻变化，判断探针寿命是否满足量产要求。
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