高真空系统的泵组怎么选？普发新品给出另一种思路

德国阿斯拉尔，近期 —— Busch Group 旗下品牌，Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions（以下称 Pfeiffer 普发）推出新款 SplitFlow 350 涡轮分子泵。这款结构紧凑的泵面向高气体流量与要求严苛的工业工艺，将高抽速与低功耗完美结合。与 SplitFlow 系列的所有真空泵一样，该泵由多个级组成，各级之间通过转子堆叠分隔。

凭借这一结构，涡轮泵可逐级达到更高真空度，因而不再需要同时使用多台涡轮泵。该系列因此特别适用于安装空间有限的高真空系统，例如质谱仪。自 Pfeiffer 普发发明涡轮泵以来，这一技术方向已持续演进百余年；除本次新增的 SplitFlow 350 外，其涡轮分子泵产品线还包括 HiPace 系列，覆盖不同的抽速与安装需求。

对高真空系统的选型而言，极限真空、抽速、占地面积与维护周期通常需要放在一起权衡。多级转子结构把这几项收进同一台泵内：单台设备逐级建立真空，泵组数量随之减少，占地面积与配套管路一并下降。涡轮分子泵通常需与前级泵配合工作，构成抽气机组；前级泵的选择取决于工艺对油污染的容忍度与维护条件。这一组合方式在实验室分析、科研装置与薄膜镀膜产线上较为常见。

转子温度传感器保障运行安全

为在变化的工艺条件下保持稳定可靠运行，SplitFlow 350 配备集成传感系统，持续监测转子温度。泵因此能始终保持在最佳运行区间，并可靠防止过热以及关键部件可能受到的损伤。得益于这套集成传感系统，涡轮泵具备本质安全性，同时保持稳定性能与长期可靠性。

SplitFlow 350 采用混合轴承系统，将滚珠轴承与永磁轴承相结合。该轴承技术带来长使用寿命：永磁轴承利用电磁力，使转子在无物理接触的情况下保持稳定与平衡，从而最大限度减少真空泵内部的磨损。

高性能润滑剂延长使用寿命

针对陶瓷滚珠轴承新开发的高性能润滑剂，提升了 SplitFlow 350 的耐用性与可靠性。改进的抗老化性能、优化的润滑特性、高耐温性与低放气率，共同保障性能长期稳定。

润滑剂置于储油腔中，持续为滚珠轴承供油。这一设计减少了磨损，有助于泵保持长期高效运行，其结果是更低的维护成本，以及最长五年的免维护运行时间。

上述设计指向的是同一类工况：真空品质需要长期稳定，而维护窗口越少越好。在半导体、科研与分析仪器、薄膜镀膜等行业，真空设备停机往往意味着整条工艺段的等待，维护周期的长短直接进入使用成本。Pfeiffer 普发在这些行业提供涡轮分子泵与前级泵的组合方案，SplitFlow 350 面向的正是其中对气体流量与安装空间同时有要求的场景。

支撑这类长期运行的另一面是服务网络。Pfeiffer 普发创立于 1890 年，长期参与真空技术标准的制定，目前在全球拥有约 4,000 名员工、10 个生产基地与 23 个销售与服务中心。在中国，普发真空技术（上海）有限公司设有约 4,000 平方米的售后服务和组装工厂，并在各地配置区域销售与现场服务工程师。在涡轮分子泵与高真空技术领域，普发是全球主要厂商之一。

配图说明：新款 SplitFlow 350 涡轮分子泵将高抽速与低功耗相结合。

图片来源：Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions 中国官方网站

关于 Busch Group

Busch Group 是全球主要的真空泵、真空系统、鼓风机、压缩机、真空腔体与尾气处理系统制造商之一。集团旗下拥有两个知名品牌：Busch Vacuum Solutions 与 Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions。

产品与服务组合覆盖食品、半导体、分析、化工与塑料等行业的真空、正压与尾气处理应用，也包括定制真空系统的设计与建造，以及覆盖全球的服务网络。

Busch Group 是由 Busch 家族管理的家族企业。集团在全球 47 个国家拥有超过 8,000 名员工，总部位于德国巴登-符腾堡州毛尔堡，地处德国、法国、瑞士三国交界地区。

在中国，Busch Group 设有武汉蔡甸亚太生产销售基地，该基地为其全球 20 家自有生产工厂之一。除中国外，集团在德国、法国、英国、印度、罗马尼亚、瑞士、韩国、捷克、美国与越南同样设有生产工厂。

常见问题FAQ

Q1：涡轮分子泵和普通真空泵有什么区别？

涡轮分子泵用于高真空与超高真空段，需与前级泵配合组成抽气机组；普通旋片泵、干泵多用于粗真空与前级。多级转子结构的涡轮泵可逐级建立更高真空度，减少泵组串联数量。

Q2SplitFlow 350适合什么场景？

适合安装空间有限、同时要求高气体流量的高真空系统，例如质谱仪等分析仪器。泵体结构紧凑，单台设备即可完成多级抽气。

Q3：最长五年免维护是怎么实现的？

混合轴承系统让转子在永磁轴承上无接触运行，减少内部磨损；针对陶瓷滚珠轴承开发的高性能润滑剂具备抗老化、耐高温与低放气率特性，置于储油腔中持续供油，维护成本与停机时间随之下降。