北京
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国家知识产权局信息显示，河南硅烷科技发展股份有限公司申请一项名为“一种钟罩式反应器及利用其制备多晶硅棒的方法”的专利，公开号CN122957845A，申请日期为2026年9月。
专利摘要显示，本发明涉及多晶硅制备技术领域，特别是涉及一种钟罩式反应器及利用其制备多晶硅棒的方法。本发明通过将钟罩式反应器的冷却套半径与硅芯半径之比限定为（2.5‑4）：1，并将进气口设置于钟罩壳体的边缘位置，同时对硅芯进行氢气气氛下的高温热处理，使硅芯表面形成氢化硅表面，三项措施从流场优化、温度场调控和表面改性三个层面协同作用，能够有效抑制气态硅中间体的生成，强化硅烷气体向硅芯表面的扩散传质，消除氧化区域与清洁区域之间的反应活性差异，降低表面硅原子的迁移能垒，从而在保证较高硅烷转化率的同时，显著提高多晶硅棒的轴向沉积均匀性，并抑制枝晶和裂纹的产生。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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