北京
国家知识产权局信息显示，上海至纯洁净系统科技股份有限公司、至微半导体（上海）有限公司取得一项名为“一种用于降低IPA溢出的抽风结构及晶圆烘干设备”的专利，授权公告号CN224887487U，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种用于降低IPA溢出的抽风结构及晶圆烘干设备，涉及半导体生产设备技术领域，包括承载箱体，承载箱体的顶板上设有第一输气管以及第二输气管，承载箱体垂直于长度方向的两侧壁上分别设有第三输气管与出风管，第三输气管与承载箱体内的驱动气缸连接，驱动气缸用于控制第三输气管的通断，出风管连接有负压源，第二输气管的端口处设有第一手动阀，出风管向背离承载箱体的方向依次设有第二手动阀与气动旋转阀，气动旋转阀与IPA浓度检测计信号连接，本申请解决了现有用于晶圆烘干设备的抽风装置抽风结构单一，抽风风向固定，且抽风效率无法根据设备内部IPA蒸汽浓度变化而调整的技术问题。
天眼查资料显示，上海至纯洁净系统科技股份有限公司，成立于2000年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本38296.425万人民币。通过天眼查大数据分析，上海至纯洁净系统科技股份有限公司共对外投资了45家企业，参与招投标项目79次，财产线索方面有商标信息74条，专利信息352条，此外企业还拥有行政许可57个。
至微半导体(上海）有限公司，成立于2017年，位于上海市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本53144万人民币。通过天眼查大数据分析，至微半导体(上海）有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目38次，财产线索方面有商标信息5条，专利信息341条，此外企业还拥有行政许可2个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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