四川
近日的中国国际工业博览会上，上海朗道科技的一台设备成了不少人驻足的焦点。这不是什么完整的光刻机，而是国内做光刻机最核心的部件 ——EUV 光源的样机，而且是敢直接拉到展台让外人看的那种。
敢亮家当的底气是什么？
这台样机的来头不小。朗道是近年成立的上海企业，核心团队来自清华大学气体放电等离子体实验室，之前一直闷头搞技术，这次突然把 EUV 光源摆出来，还公开说国产化程度达 90%。
EUV 光源是光刻机的 “心脏”，全球能做量产的只有荷兰阿斯麦，国内之前连像样的消息都少，最多是外媒瞎猜。这次朗道直接亮核心，说明本土产业链的底子已经搭起来了。
朗道选的是和阿斯麦一样的 LPP 路线 —— 用激光打锡液滴，产生 13.5 纳米的极紫外光。这条路线是目前唯一能量产的，另一条 LDP 路线早年飞利浦试过，没成。
和阿斯麦的差距在哪？
别看样机摆出来了，要用到晶圆厂还差得远，主要差在三个关键指标：
第一个是功率。阿斯麦用的是德国通快的高功率激光器，能输出几十千瓦，转化成 EUV 光有几百瓦，够晶圆厂用。朗道的功率仅 1000 瓦，转化成 EUV 光才 15 瓦左右，差了几十倍。
第二个是稳定性。晶圆厂的光刻机是连轴转的，停机一小时损失巨大。阿斯麦的光源能连续跑几千小时，朗道的样机目前稳定运行约 100 小时，差了几十倍。
第三个是零部件寿命。EUV 光会打飞锡碎屑，污染收集镜，阿斯麦有独门清理技术，朗道目前还在啃这块硬骨头。
还要等多久才能用上？
朗道的样机已经走通了 LPP 路线，国产化率也够高，接下来就是把性能拉上去。业内估计，至少需要 1-5 年才能赶上阿斯麦的量产水平 —— 有人说快的话 1-2 年，慢的话 3-5 年，主要看测试迭代的速度。
等朗道的光源能稳定跑几千小时、功率达到几十千瓦的时候，阿斯麦的日子就不好过了。
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