北京
国家知识产权局信息显示，上海原子启智半导体设备有限公司申请一项名为“射频组件与等离子体处理设备”的专利，公开号CN122968201A，申请日期为2026年9月。
专利摘要显示，本发明公开了一种射频组件与等离子体处理设备。射频组件包括内线圈组和外线圈组，内线圈组嵌套设置于外线圈组的径向内侧；内线圈组与外线圈组分别呈螺旋状缠绕多匝，每组线圈组的螺旋自其径向内端延伸至其径向外端，且两组线圈组的螺旋绕向相反；外线圈组具有第一射频接入端和第一接地端，内线圈组具有第二射频接入端和第二接地端，且第一射频接入端和第一接地端的径向内外布置顺序与第二射频接入端和第二接地端的径向内外布置顺序相反。通过绕向相反与端子布置顺序相反的双重反向配置，可使工作时两组线圈中射频电流沿线圈匝的环绕方向相同，可兼顾等离子体密度的径向均匀性和激发效率。
天眼查资料显示，上海原子启智半导体设备有限公司，成立于2025年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1493.1645万人民币。通过天眼查大数据分析，上海原子启智半导体设备有限公司财产线索方面有商标信息7条，专利信息32条，此外企业还拥有行政许可7个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
本文源自：市场资讯
作者：情报员
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
