北京
国家知识产权局信息显示，西安芯晖检测技术有限公司取得一项名为“一种多光路合束成像系统”的专利，授权公告号CN224888547U，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本实用新型提供了一种多光路合束成像系统，属于自动化光学检测技术领域，该多光路合束成像系统包括：成像采集单元，包括物方远心镜头，以及耦合至物方远心镜头的图像传感器；光程补偿与折叠机构，配置于待测晶圆与成像采集单元的光路之间，被配置为形成汇聚至物方远心镜头的三条独立的成像光路；以及对至少一条成像光路进行光程补偿，以使正面边缘区域、背面边缘区域以及周向边缘区域的反射光到达图像传感器的光程的差值位于物方远心镜头的景深范围内。能够通过一套成像系统同步得到晶圆的三个边缘区域的图像。
天眼查资料显示，西安芯晖检测技术有限公司，成立于2021年，位于西安市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本600万人民币。通过天眼查大数据分析，西安芯晖检测技术有限公司参与招投标项目1次，专利信息29条，此外企业还拥有行政许可1个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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