国家知识产权局信息显示,长鑫科技集团股份有限公司申请一项名为“半导体结构及其制造方法”的专利,公开号CN122952577A,申请日期为2025年4月。
专利摘要显示,本公开实施例提供了一种半导体结构及其制造方法,其中,制造方法包括:提供衬底,在衬底上形成堆叠结构,堆叠结构至少包括第一牺牲层和位于第一牺牲层下方的第二牺牲层;刻蚀堆叠结构以形成在竖直方向上贯穿堆叠结构的电容孔,并在电容孔内形成第一电极层;执行多次循环工艺,去除第一牺牲层;其中,一次循环工艺包括:对第一牺牲层执行第一刻蚀工艺,以形成暴露部分第一电极层侧壁的第一循环间隙;对第一电极层被暴露的侧壁执行第二刻蚀工艺,以减小被暴露的第一电极层在水平方向上的尺寸。
天眼查资料显示,长鑫科技集团股份有限公司,成立于2016年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本6019279.7469万人民币。通过天眼查大数据分析,长鑫科技集团股份有限公司共对外投资了16家企业,参与招投标项目1089次,财产线索方面有商标信息332条,专利信息725条,此外企业还拥有行政许可44个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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