北京
【CNMO科技消息】近日，蔡司韩国新任负责人亚内·泽胡森表示，面对三星电子、SK海力士在韩国及海外推进的大规模晶圆厂投资，蔡司已提前完成供应链和技术准备，将加强对先进制程及半导体计量需求的支持。
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蔡司为ASML独家供应高性能光学镜头，与三星电子、SK海力士等芯片制造商业务联系紧密。泽胡森称，随着半导体工艺从数纳米向埃米级发展，制造环节需要缺陷更少的大型光学系统，以及具备更高分辨率和稳定性的计量技术。先进封装同样对精密测量能力提出更高要求。
在高数值孔径EUV领域，蔡司已提前布局相关光学与计量方案。该技术将镜头数值孔径由0.33提升至0.55，可进一步改善曝光分辨率，预计未来两至三年进入大规模量产。蔡司六年前已开始开发高数值孔径EUV光掩模计量解决方案，并供应检测光掩模性能及缺陷的AIMS设备。
为增强产能，蔡司今年7月宣布扩建德国奥伯科亨半导体制造技术工厂，计划增加2.5万平方米空间，并导入高数值孔径EUV精密光学系统和计量设备。泽胡森表示，高精度特种玻璃等材料需要提前规划，不能等芯片需求增长后再启动供应链建设。
三星电子计划围绕平泽园区、龙仁国家产业园等半导体集群投资约2030万亿韩元。为深化本地合作，蔡司还于今年7月在龙仁启用半导体创新中心，目前已导入两台设备，更多设备计划年内进驻。对于在韩国建设面向本地客户的研发基地，蔡司表示尚未作出决定，但将其视为可行选项。
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