北京
国家知识产权局信息显示，拓荆科技（上海）有限公司申请一项名为“设备前端模块、晶圆对准方法和半导体工艺设备”的专利，公开号CN122935199A，申请日期为2026年9月。
专利摘要显示，本发明公开了一种设备前端模块、晶圆对准方法和半导体工艺设备。该设备前端模块包括：第一对准器和第二对准器；双臂机械手，包括关联解耦的第一臂和第二臂，用于在装载端口、第一对准器、第二对准器及后道模块之间搬运晶圆；以及控制器，被配置为：控制第一臂将第一晶圆放置于第一对准器上进行对准；在第一对准器的对准期间，控制第二臂将第二晶圆放置于第二对准器上进行对准；在第二对准器的对准期间，控制第一臂将对准完成后的第一晶圆取下并送至后道模块；以及控制第二臂将对准完成后的第二晶圆送至后道模块。本发明能够使两片晶圆的对准流程相互独立，优化传输节拍，提升设备WPH产能，并且提升晶圆调度灵活性与设备运行效率。
天眼查资料显示，拓荆科技（上海）有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事零售业为主的企业。企业注册资本283508.77万人民币。通过天眼查大数据分析，拓荆科技（上海）有限公司参与招投标项目58次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息462条，此外企业还拥有行政许可45个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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