国家知识产权局信息显示,安徽长飞先进半导体股份有限公司申请一项名为“晶圆检测方法和晶圆检测系统”的专利,公开号CN122935215A,申请日期为2026年6月。
专利摘要显示,本申请公开了一种晶圆检测方法和晶圆检测系统,属于半导体技术领域。所述方法包括:将刻蚀剂加热至熔融态;在熔融态的所述刻蚀剂的温度大于或等于预设温度阈值的情况下,将待测晶圆浸没于熔融态的所述刻蚀剂,并通入第一辅助气体,对所述待测晶圆进行刻蚀,所述第一辅助气体为氧化性气体;获取所述待测晶圆的刻蚀形貌图像;基于所述刻蚀形貌图像,确定所述待测晶圆的位错检测结果。该方法通过通入第一辅助气体,可以为待测晶圆的刻蚀过程补充溶解氧,溶解氧可以提高刻蚀速率,以使待测晶圆中不同类型的位错更易于分辨,该方法出现误判的概率低,得到的位错检测结果准确度高。
天眼查资料显示,安徽长飞先进半导体股份有限公司,成立于2018年,位于芜湖市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本33997.7041万人民币。通过天眼查大数据分析,安徽长飞先进半导体股份有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目32次,财产线索方面有商标信息42条,专利信息300条,此外企业还拥有行政许可14个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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