国家知识产权局信息显示,深圳市新凯来工业机器有限公司申请一项名为“一种晶圆的移动控制方法、装置及系统”的专利,公开号CN122935185A,申请日期为2025年4月。
专利摘要显示,一种晶圆的移动控制方法、装置及系统,涉及半导体工艺领域。该晶圆的移动控制方法先获取与多个套刻图案对应的多个位置信息,以保证晶圆上的每个套刻图案的位置均能够被精准获取,并根据多个位置信息确定出第一扫描模式及第二扫描模式中用时最短的扫描模式,再根据最短的扫描模式控制晶圆移动,有利于减小晶圆的移动时间,提高了晶圆的测量效率,进而提高套刻误差的测量效率。
天眼查资料显示,深圳市新凯来工业机器有限公司,成立于2022年,位于深圳市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本108140万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市新凯来工业机器有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目20次,财产线索方面有商标信息23条,专利信息379条,此外企业还拥有行政许可16个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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