国家知识产权局信息显示,中兴通讯股份有限公司、西安电子科技大学申请一项名为“半导体结构制作方法、半导体结构及电子设备”的专利,公开号CN122935133A,申请日期为2025年4月。
专利摘要显示,本申请实施例提供了一种半导体结构制作方法、半导体结构及电子设备,该方法包括:在衬底上方形成混合缺陷抑制层,其中,所述混合缺陷抑制层为立方相和六方相混合相结构,且所述立方相和所述六方相的相界面形成有层错;在所述混合缺陷抑制层上方形成氮化镓层。本申请实施例能够减少氮化镓层中的位错密度,提高氮化镓层的晶体质量,提高半导体结构的性能和可靠性。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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