国家知识产权局信息显示,苏州超锐微电子有限公司申请一项名为“一种基于双激光器温差闭环波长锁定的合成波干涉测量系统”的专利,公开号CN122921013A,申请日期为2026年7月。
专利摘要显示,针对传统双频激光合成波干涉测量系统存在双激光器温度一致性差带来的精度难以兼顾的技术问题,本发明公开了一种基于双激光器温差闭环波长锁定的高稳定合成波干涉测量系统,属于精密激光干涉计量技术领域。本系统设置两路独立激光器作为双频光源,通过实时检测两路激光器芯片温差,实现双激光器波长高精度同步锁定与频差稳定输出;构建“温差稳频+恒定频差+多级合成波迭代测量”的一体化高精度测量架构。本发明彻底解决了传统双频光源因双管温差不一致导致的缺陷,大幅提升合成波干涉系统的测距精度、量程稳定性与环境抗干扰能力,适用于超精密机床定位、光刻机工件台测控、大型结构微形变监测、长距离精密绝对测距等高端精密计量场景。
天眼查资料显示,苏州超锐微电子有限公司,成立于2004年,位于苏州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州超锐微电子有限公司共对外投资了2家企业,财产线索方面有商标信息2条,专利信息76条,此外企业还拥有行政许可2个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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