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中国科技公司朗道燧岩展出了一台EUV光源样机,国产化率90%,驱动激光1000瓦,EUV能量15瓦,能连续跑100多个小时。公司2024年才成立,满打满算几十号人,背后是清华的等离子体课题组。
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网上的争论分两派。一派说15瓦离商用几百瓦差了十万八千里。另一派说90%国产化率,心脏已经跳了,全身血液循环还远吗。
这两派都没说到点子上。
这台样机真正的分量,不在于它现在能干什么,而在西方仅剩的光刻机底牌,被打破,荷兰阿斯麦没料到,突破来得如此之快。
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光刻机三大核心件里,光源价值占比两成上下,是妥妥的心脏。从0到1和从1到100是两码事,原理不通、供应链不齐,你连15瓦都憋不出来;能稳定吐出15瓦,说明最硬的那道科学关已经过了,剩下的是工程和时间的活。
但真正让ASML睡不踏实的,不是这台样机本身。是ASML自己的高管,比谁都清楚接下来会发生什么。
今年5月,ASML CEO富凯在安特卫普说了一句很重的话。
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他说ASML卖给中国的DUV设备,本身就是2015年的技术,落后八代工艺,进一步收紧限制,只会加速中国自主研发替代设备。到了10月,ASML CFO戴厚杰直接开炮,说美国国会那个要把DUV也彻底掐断的MATCH法案,是一个糟糕的主意,会适得其反。
一家垄断全球光刻机的公司,CEO和CFO轮番上阵劝美国别封了。
这话听着像是在替中国说话,其实是在替自己说话。他们比美国那帮人更清楚一件事:封锁的边际效应是递减的。你封得越死,被封锁的人越没有退路,只能自己从头干。而一旦对方真的从头干出来了,你手里那张牌就不值钱了。
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市场的反应比任何分析都诚实。美银的分析师表示垄断生意为什么暴利?不全是技术多神,而是你没得选。一旦你证明自己也能造,哪怕还没量产,谈判桌上的气势就先翻了。
ASML中国市场营收占比从2024年的41%掉到2025年的33%,2026年预计只剩20%上下。这个数字的下滑,一部分是美国管制逼的,另一部分是中国客户在提前找解决方案。
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据不完全统计,中国企业此前已经囤了343台浸没式DUV,占ASML同类设备出货量的六到七成。一手囤货续命,一手自研换命,双轨并行,禁售的窗口期有多长,早就算好了。
虽然一台完整的EUV光刻机还需要物镜系统和工作台,不是搞定了光源就万事大吉。ASML在整机集成和良率控制上的积累,也不是一朝一夕能追平的。但ASML最害怕的结局,从来不是中国造出一台跟它一模一样的EUV光刻机。
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它最害怕的,是那些原本别无选择的客户,开始发现自己可以不需要它,西方的底牌的价值已经在松动了。
光刻机这张牌,ASML还能打多久,不取决于中国什么时候造出EUV整机,取决于还有多少人觉得非它不可。
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