辽宁
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“想法很大胆，但是执行起来很困难。”
这是美国科技媒体在读完一份中国半导体产业老兵撰写的报告之后给出的评价。报告建议在国内整合各方技术力量，组建一家对标阿斯麦的综合性公司，集中突破极紫外光刻机，同时打造多个大型半导体集团。
美媒泼冷水背后藏着对我们这套打法的某种敬意。Tom‘s Hardware在分析中，这个思路很清晰，大方向也抓到了半导体产业最吃劲的几个关节。
那美媒他们眼里说的“难”，到底难在哪？
第一个难点是设备成熟度。原型机能曝光几片晶圆是一回事，一天能稳稳跑几百片、良率还维持在产线能接受的水平，又是另一回事。阿斯麦自己2006年第一代EUV原型机交付的时候，光源功率弱得几乎没法做芯片，直到2010年用上大功率光源才有了第二台，又磨了近十年，到2019年才真正量产交付台积电投入商用。从样机到商用，整整走了十三年，这还是在全球供应链敞开供货的前提下。
第二个难点是制造数据。阿斯麦能走到今天，很大程度上靠的是数十年里和台积电、三星、英特尔反复磨合沉淀下来的海量工艺数据。每一次晶圆厂反馈的参数、良率波动、缺陷分布，都被喂回下一代机器的设计里。这种数据壁垒，不是靠砸钱就能短期填平的。但美媒只说了“难”，却没有说“不可能”。而过去几个月发生的事情，恰恰在回答这个问题。2026年10月中旬，第二十六届中国国际工业博览会上，朗道燧岩公司首次公开展示了一台极紫外光源系统样机，核心零部件以自主研发为主，技术路线与国际领先厂商一致。驱动激光功率1000W，EUV能量大于15W，持续工作时间超过100小时。这家公司成立于2024年，创始团队来自清华大学气体放电等离子体实验室，目前已经完成了多轮融资，投资方包括中芯聚源等产业资本。
几乎同一时间，上海方向一家国资背景、整合了多家国内DUV研发力量的企业，开始小批量制造浸没式DUV光刻机，首批交付对象是中芯国际、华虹半导体和长鑫存储，2026年预计交付五台左右，2027年目标提升到二十台。再往前看，成都双流的中特微在接近式光刻机细分市场做到了国内LED领域批量出货，产品打入8英寸MEMS与光通信高端量产产线，光显示领域细分市场占有率约80%，今年整体订单金额突破1亿元，预计明年产能达到300台。江苏海思的8英寸全自动光刻机也完成了出厂调试，正式发往客户用于Micro LED晶圆图形化制程。
把这些点连起来看，一个清晰的图景浮现出来：中国光刻机产业正在从三个方向同时推进。美媒说“执行困难”，但“困难”不等于“做不到”。阿斯麦花了十几年从样机走到量产，我们已经走在产业迭代最关键的起点。
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