国家知识产权局信息显示,ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“用于反应器系统的密封系统”的专利,公开号CN122918530A,申请日期为2026年3月。
专利摘要显示,一种反应器可以包括:封闭在反应室内的反应室容积;基座,其配置成在反应室内上下平移;反应空间和下室空间,反应空间在反应室容积内位于基座上方,下室空间在反应室容积内位于基座下方;和/或使反应空间和下室空间基本流体分离的密封系统。密封系统可包括围绕基座的分隔板;和/或密封装置,其联接到基座和分隔板和/或与基座和分隔板接合,其中密封装置包括联接到基座的基部环和联接到基部环的弹簧。弹簧可以具有弹簧偏置,便于在分隔板和基座之间产生基本密封,使得当基座在反应室内平移时反应空间和下室空间基本流体分离。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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