“湾芯展”观察 丨 从“补空白”到“同台竞争”：国产半导体设备这一年，实现了哪些进展？

10月14日至16日，2026湾区半导体产业生态博览会（以下简称“湾芯展”）在深圳举办，新品宣讲、客户洽谈与产业链对接密集进行。

图片来源：每经记者 孔泽思 摄

《每日经济新闻》记者（以下简称每经记者）在现场看到，过去一年，国产半导体设备的进展已经不能用“又多了几款新品”来概括。

“现在非常多的客户，会把我们和国际同行放到同台竞争的地位。”正如万里眼CEO刘桑对每经记者所言，这是非常可喜的一面。这句话从一定程度上证明了，国产半导体设备正从“能不能造出来”，转向“敢不敢放在同一张桌子上比”。

头部公司从“补空白”到“抢覆盖率”

在半导体前道设备中，离子注入机的国产化率长期偏低，与光刻机同属国产化率最低的尖端设备品类之一。华海清科（SH688120）本次带来的最新产品中束流离子注入机IHQ-900E，正指向这块“硬骨头”。

华海清科现场工作人员10月14日向记者介绍，IHQ-900E耗时一年推出，性能超过国外竞品。据悉，该设备是“国产首台性能超越国外竞品的中束流离子注入机”，整机国产化率95.6%，预计2027年实现全部国产化。

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上述华海清科工作人员表示，离子注入机具有高电压、高电流、强磁场且速度快的特点，对产品安全的顾虑较大。该机型补足了国产同类产品在角度控制等方面短板，“其他国产竞品虽然也能做到，但是性能相对较弱”。目前，该产品正处于验证阶段，预计年内会实地应用到客户端。同时，该产品具备实现国产替代的潜力，能够与国外先进竞品正面竞争。

每经记者从中微公司（SH688012）了解到，在展会新品宣讲环节，公司重点推介了最新发布的两款高端半导体微观加工设备——Primo XD-RIE™极高深宽比刻蚀设备与Prefima Unicore™AM 12英寸ALD钼设备，后者填补了公司在原子层沉积钼工艺领域的技术空白。

中微公司工作人员介绍，公司已开发出54种刻蚀和薄膜产品，近几年在大力布局薄膜相关产品，也在进军量检测设备。“刻蚀产品已覆盖存储、先进封装等相关应用场景，公司的薄膜相关产品进入市场稍晚一些，目前在一些先进制程方面已有安装量。预计2030年将会覆盖60%高端设备，包括刻蚀设备、薄膜设备、量检测设备和湿法设备等。”

中微公司方面还表示，公司计划在五年内开发出二十多种新的高端薄膜设备，助力7纳米到3纳米以及更先进的逻辑器件，和300层到500层以上及更先进的存储器件需求。

测试设备从“后道把关”走向“研发前端”

除了前道环节的突破，另一场变化发生在测试环节。

“那些期待市场能够回到过去的人，必须认识到这种想法是不切实际的，市场已经不可逆转地向前发展了。”慧荣科技总经理苟嘉章日前表示。过去一年，AI服务器和数据中心对存储产品的需求快速增长，全球主要存储原厂的产能和研发资源不断向高性能产品倾斜，NAND闪存、DRAM等产品供应持续紧张。他预计，2027年可能是存储供需最紧张的阶段之一，直到2028年原厂新增产能逐步释放后，市场才有望缓解。

存储市场的变化不仅推高了芯片价格，也带动了相关制造和测试设备的需求。精智达（SH688627）董事谢思遥在“湾芯展”上对每经记者表示，今年1月和9月，公司分别获得了13.11亿元和15.76亿元的订单，这两笔金额合计就超过公司2025年营收的两倍。

不过比订单更值得关注的是，测试环节角色发生了变化。过去，测试设备更多被视为芯片制造完成后的质量把关环节；但随着HBM等高性能存储产品加快迭代，芯片堆叠层数、数据传输速度和封装复杂度不断提高，测试设备不仅需要满足更高的精度和稳定性要求，还需要更早地参与产品研发与验证。

“近几年，随着产品技术复杂度提高，测试已经逐渐贯穿从研发、工程验证到量产的全过程。”谢思遥说。对国产测试设备企业而言，机会不只是下游客户扩大采购规模，更在于高端产品升级释放的新需求。

谢思遥介绍，精智达正持续推进高性能存储芯片测试设备研发，并将业务向GPU、CPU等算力芯片测试领域延伸，以适应AI芯片对高速信号处理、复杂工作环境及测试精度提出的新要求。

挑战同样明确。相比积累了数十年工程经验的国际设备企业，国内厂商需要在较短时间内完成产品研发、客户验证和规模化交付，部分技术问题难以通过单次研发突破解决，而需要在实际应用中持续改进。“很多问题对于我们来说也是新的问题，我们将进一步联合产业链合作伙伴攻克各类技术难题。”谢思遥说。

高端仪器厂商从“单款突破”走向“多品类协同”

在电子测量仪器这一同样长期由国际厂商主导的领域，变化更为直观。

2025年“湾芯展”上，万里眼发布了新一代超高速实时示波器，其带宽突破90GHz，将国产示波器性能提升至原有水平的500%，打破了《瓦森纳协定》长达30年的技术封锁。

2026年10月14日，万里眼CEO刘桑在接受每经记者采访时表示，这一年来行业有两个显著变化：其一，万里眼的90G实时示波器瞄准计算芯片和高速互联领域（如网络交换芯片）研发，随着224G、112G等高速接口技术的规模化应用，国内客户对此类仪器的需求显著提升。其二，很多客户会把万里眼和国际品牌放到同台竞争的地位，而且在某种意义上更愿意给予国产厂商应用的机会，同时一起去找出新的价值点。

刘桑还表示，近期业界正热烈探讨先进制造业与先进生产力发展。在未来产业和新兴产业中，AI下一代智能基础设施、6G、卫星通讯等是关键方向。

今年，万里眼已围绕这些领域取得了实质性成果：针对卫星通讯所需的高频率、高带宽需求，推出了信号源与频谱仪；针对AI计算中心的互联需求，推出了用于测试PCB、高速连接器和线缆的矢量网络分析仪。

国产高端仪器厂家“从单款突破到多品类协同”的转向，在万里眼身上体现得最为直观。