吉林
如果说光刻机是芯片制造皇冠上的明珠，那么极紫外光源就是这颗明珠的"心脏"。
在上海举行的中国国际工业博览会上，一家名为朗道光刻的上海初创企业展出了一台极紫外光源系统原型机，吸引了大量目光。
据当地媒体报道，公司代表表示，这台机器90%的零部件已经实现国产化，大部分核心部件由团队自主研发。
现场工作人员称，这台原型机是推动国产极紫外光源从实验室走向产业化应用的关键一步。按照目前的规划，距离量产还需要三到五年时间。
为什么光源是"心脏"
芯片制造的核心步骤之一，是用光把电路图案"印"到硅片上。光的波长越短，能刻画的线条就越精细。
目前最先进的光刻机采用波长仅13.5纳米的极紫外光，只有它才能经济地制造5纳米、3纳米这类先进制程芯片。
问题在于，极紫外光极难产生。它在自然界几乎不存在，而且会被空气和普通透镜吸收，整个光路必须在真空中运行，并依靠特殊反射镜传导。
主流技术路线是激光等离子体光源：用高功率激光以极高频率轰击微小的锡液滴，使其变成高温等离子体，从而辐射出极紫外光。
这个过程的难度，被业内比作"每秒数万次精准击中飞行中的微小液滴"。光源功率、稳定性和寿命，直接决定了光刻机每小时能处理多少片晶圆。
正因如此，光源往往被视为极紫外光刻机中最难攻克的子系统之一。全球范围内，能够提供商用级极紫外光源的企业屈指可数。
一台极紫外光刻机售价高达数亿美元，内部零部件数以万计，供应链遍布全球多个国家。其中，光源系统的技术壁垒尤其高，长期被极少数企业掌握。
国产化九成意味着什么
此次展出的原型机，在国产化率上给出了一个亮眼的数字。
在外部出口管制持续收紧的背景下，关键零部件能否自主可控，直接关系到整条技术路线是否可持续。
荷兰阿斯麦公司目前在极紫外光刻机领域处于垄断地位，而美国和荷兰的管制措施早已禁止向中国出口这类设备。
这意味着，中国如果想要发展先进制程，就必须在光源、光学系统、精密工作台等核心环节上逐一突破。
朗道光刻的原型机展示，被视为国内在光源这一环节取得的阶段性进展。
九成国产化，意味着即便外部供应进一步受限，这条技术路线的大部分环节仍能在国内找到替代。剩下一成往往是最难的部分，可能涉及特种材料、高端激光器或精密传感器。
不过，原型机与商用设备之间还有很长的路。功率是否足够、能否长时间稳定运行、关键耗材寿命如何，都需要经过严格的工程验证。
自主化浪潮中的一块拼图
这次亮相，是北京推动芯片制造设备自主化的一个缩影。
近年来，国内在刻蚀、薄膜沉积、清洗等设备领域已经取得了明显进展，部分产品进入主流晶圆厂产线。光刻机，尤其是极紫外光刻机，则仍是最难啃的硬骨头。
光源只是其中一环。一台完整的极紫外光刻机还需要超高精度的多层膜反射镜、纳米级定位的双工作台，以及复杂的控制软件，每一项都是长期技术积累的结果。
业内普遍认为，从光源原型到整机量产，需要整个产业链的协同推进。三到五年的量产时间表，已经算是相对积极的预期。
与此同时，国内还有高校和科研院所在探索不同的极紫外光源技术路线。多条路线并行推进，有助于分散风险，也为未来的技术选择留出余地。
资本市场对这一领域也格外关注。近年来，围绕光刻核心部件的初创企业不断涌现，地方政府和产业基金纷纷加大投入，希望在这条最关键的赛道上占得一席之地。
长跑才刚刚开始
回望历史，阿斯麦从启动极紫外研发到实现商业化，前后用了将近二十年，还得到了全球多家顶尖企业和研究机构的支持。
对中国企业而言，这场长跑既是技术之争，也是耐心之争。人才储备、基础材料和精密制造能力，都需要时间慢慢沉淀，很难靠一次性投入速成。
一台原型机不会立刻改变全球芯片格局，但它传递出一个清晰信号：在最尖端的芯片装备领域，中国的追赶已经从图纸走向了实物。
从实验室走向工厂，往往是技术创新中最艰难的一段路，被称为"死亡之谷"。许多看似成功的原型机，最终倒在了可靠性和成本这两道关口前。
接下来几年，这颗"心脏"能否稳定跳动，将是观察中国芯片自主化进程的重要窗口。
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