北京
国家知识产权局信息显示，西门子（中国）有限公司申请一项名为“晶圆偏心补偿运动控制方法、装置、电子设备、介质及程序”的专利，公开号CN122902173A，申请日期为2026年7月。
专利摘要显示，本申请提供了一种晶圆偏心补偿运动控制方法、装置、电子设备、介质及程序。其中所述方法包括：获取加工半径以及晶圆中心相对于转台中心的偏心量；根据所述加工半径以及所述偏心量，得到目标加工轨迹上每一加工进度处旋转轴与平移轴各自对应的目标位置；其中，所述目标加工轨迹为以晶圆中心为圆心、以所述加工半径为半径的圆形轨迹；依据所述目标位置，驱动所述旋转轴与所述平移轴同步联动；其中，所述旋转轴用于驱动转台绕其自身轴线旋转，所述旋转轴的轴线方向垂直于晶圆所在平面；所述平移轴用于驱动转台基座沿Y方向作直线运动，所述Y方向垂直于所述旋转轴的轴线方向。
天眼查资料显示，西门子（中国）有限公司，成立于1994年，位于北京市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本90000万欧元。通过天眼查大数据分析，西门子（中国）有限公司共对外投资了43家企业，参与招投标项目3118次，财产线索方面有商标信息101条，专利信息1406条，此外企业还拥有行政许可33个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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