北京
国家知识产权局信息显示，广东先导微电子科技有限公司申请一项名为“一种衬底片清洗行星喷头装置及方法”的专利，公开号CN122895249A，申请日期为2026年8月。
专利摘要显示，本申请公开了一种衬底片清洗行星喷头装置及方法，涉及半导体衬底清洗技术领域，其中装置包括载架、旋转供液组件、驱动组件、行星传动组件及若干喷头。旋转供液组件包括固定于载架的固定部，以及可转动连接固定部的旋转部，固定部设多个连通清洗液源的进液口，旋转部设多个出液口，进液口与出液口经组件内部流道连通；驱动组件与旋转部传动连接，可带动旋转部转动，各喷头经连接管分别连通各出液口；行星传动组件安装于载架，分别连接旋转部与喷头，旋转部转动时可带动喷头转动，对静止在清洗工位的衬底片进行喷淋。本装置无需衬底片或清洗卡具旋转，可降低衬底片发生干涉、挤压、碰撞的风险；喷头可同时实现公转与自转，有效提升喷淋均匀性。
天眼查资料显示，广东先导微电子科技有限公司，成立于2020年，位于清远市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本120104.63万人民币。通过天眼查大数据分析，广东先导微电子科技有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目44次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息579条，此外企业还拥有行政许可214个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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