北京
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国家知识产权局信息显示，圆益IPS股份有限公司申请一项名为“等离子体源、等离子体源组件及基板处理装置”的专利，公开号CN122910519A，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，根据本发明的一观点的等离子体源组件，包括：排气板，形成有多个排气孔；及至少一个等离子体源，结合在所述排气板上，以向所述排气板供应已激活的工艺气体。所述至少一个等离子体源可包括：反应主体，包括多个主体部及多个绝缘部；多个磁芯；多个绕组，从电源部接收电力供应以在所述多个磁芯内感应磁力；感应部，用于测量从所述电源部输出的电压及电流之间的电压‑电流相位差；及控制部，将从所述感应部接收的所述电压‑电流相位差与基准值相比较以判断等离子体的开/关与否。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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