上海
上证报中国证券网讯（记者 李兴彩）10月12日，第二十六届中国国际工业博览会（简称“工博会”）在国家会展中心（上海）正式启幕。本届工博会首次设立集成电路展（国芯展），以“芯链工业，强芯筑基”为主题。盛剑科技在会上正式发布六大新产品，并荣获2026“国芯展”创新成果奖。
随着先进制程的不断演进、特色工艺的不断创新，半导体产业对高端装备及专业服务的需求日新月异、与日俱增。盛剑科技持续围绕半导体生产主设备着力打造附属装备和零部件平台化解决方案，本次正式发布的六大布局产品线，以“六方神兽”命名，延续东方意蕴与科技创新相结合的品牌表达。
盛剑科技副总经理张鹏介绍，凤凰·工艺废气处理设备（Local Scrubber）适用等离子加水洗或电加热加水洗多种工艺路线，针对不同制程副产物高效净化废气，向净而生。大鹏·干式真空泵采用多级罗茨与多级爪式结构，具备低能耗、小型化，可快速建立稳定真空环境。重明·温控设备（Chiller）采用双变频多通道设计，低能耗、宽温域特点有力守护工艺热稳态。
青鸾·集成式真空与废气处理系统（SJPS一体机）将真空泵与废气处理集成于统一机柜，可节省30%以上洁净室占地，实现端到端一体化管控。金乌·磁悬浮涡轮分子泵采用主动磁悬浮轴承、无接触高速旋转设计，具有大抽速、高压缩比，洁净无油等优势，可适配苛刻制程。羽嘉·低温泵可通过低温冷凝吸附获取超高真空，长维护周期配合自研PLC自动再生，适配严苛高真空工艺。
“以东方神鸟命名六大产品线，是致敬中国智造，也诠释了公司攻坚克难的‘芯’路历程。”盛剑科技董事长张伟明在发布会致辞中表示，盛剑将持续把研发投入投向真空、温控、工艺废气处理与电子材料的最前沿，让“中国装备”更可靠，让“中国材料”更稳定，让每一座中国芯片工厂的绿色生产线上，都有盛剑的一份力量。
张伟明表示，盛剑科技扎根上海二十一年，始终沿着“行业延伸+产品延伸”的道路，从工艺废气治理起步，逐步构建起绿色厂务系统、半导体附属装备与核心零部件、电子化学品材料协同发展的业务格局。
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