国家知识产权局信息显示,江苏纵慧芯光半导体科技股份有限公司申请一项名为“一种铟基III-V族半导体晶片抛光方法”的专利,公开号CN122895937A,申请日期为2026年8月。
专利摘要显示,本发明涉及一种铟基III-V族半导体晶片抛光方法,包括:将陶瓷环置于抛光垫表面,在陶瓷环所环绕区域的几何中心加水修正抛光垫,同时配合毛刷对抛光垫进行清洗,甩干水渍;将抛光液滴加于同样的位置,均匀抛光液后取下陶瓷环;将晶片置于抛光垫表面,抛光液滴加至抛光垫表面的设定位置处,进行抛光;重复步骤S1、S2和S3。本发明进行两方面改进,一是在正式抛光前和结束后,使用陶瓷环修整抛光垫表面,确保抛光液均匀分布,达到提高抛光移除率,延长抛光垫使用寿命的目的,二是通过优化实际抛光过程中抛光液滴液位置于M点,保证滴出的抛光液在没有被离心力甩出抛光垫前接触到铟基III-V族半导体晶片表面,实现抛光液的高利用率。
天眼查资料显示,江苏纵慧芯光半导体科技股份有限公司,成立于2015年,位于常州市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本37826.5141万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏纵慧芯光半导体科技股份有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目135次,财产线索方面有商标信息31条,专利信息254条,此外企业还拥有行政许可30个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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