21世纪经济报道记者林典驰 深圳报道
10月14日,2026湾区半导体产业生态博览会在深圳会展中心(福田)启幕。
新凯来现场展出了刻蚀、扩散、薄膜、光学检测、光学量测、电子光学量检测、物理与X射线量测设备。
与去年湾芯展一样,新凯来展出的16座“名山”,几乎覆盖半导体制造全流程装备。
记者从新凯来展台获取到的一份新凯来装备介绍手册中,意外出现了此前从未展出的两座名山。
其中包括光学检测方向的PMI(六盘山)图形掩模缺陷检测。此前的产品手册里只有莫干山,涉及空白掩模缺陷检测,没有六盘山这个系列。
除此之外,在电子光学量检测方面,mEBI(井冈山)多电子束晶圆缺陷检测,主要用于芯片研发及量产中的纳米级尺寸及电性缺陷检测,集成AI缺陷检测、定位和分类,这是新凯来新增的品类。
记者向新凯来展台工作人员询问,对方仅表示,此次湾芯展并未展出这两款新设备,仅在产品手册里列出。
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