国家知识产权局信息显示,江苏芯梦半导体设备有限公司申请一项名为“单晶圆清洗设备及其工作方法”的专利,公开号CN122895274A,申请日期为2026年9月。
专利摘要显示,本申请涉及一种单晶圆清洗设备及其工作方法。包括:转动盘,用于承载晶圆,能绕竖直轴线做水平转动;旋转支架,设置于转动盘下方,能水平转动;夹持件,活动连接于旋转支架,用于执行对晶圆的夹持动作;驱动凸轮,位于旋转支架下方,沿竖直方向可升降地设置,其外轮廓面与旋转支架传动配合,以将驱动凸轮的竖直方向升降运动转换为旋转支架的水平转动;输出轴,与旋转支架传动连接,输出轴能水平转动;其中,在夹持阶段,驱动凸轮竖直方向上升,通过其外轮廓面驱动旋转支架转动,进而带动夹持件执行夹持动作,直至旋转支架与转动盘在周向上相互抵接;在旋转阶段,输出轴转动,通过旋转支架与转动盘的周向抵接将扭矩传递至转动盘。
天眼查资料显示,江苏芯梦半导体设备有限公司,成立于2019年,位于苏州市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本4439.7337万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏芯梦半导体设备有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目83次,财产线索方面有商标信息34条,专利信息156条,此外企业还拥有行政许可11个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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