北京
国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司取得一项名为“晶圆载物台清洁装置及半导体处理设备”的专利，授权公告号CN224823737U，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本实用新型提供了一种晶圆载物台清洁装置及半导体处理设备，晶圆载物台清洁装置包括密封罩体、吹扫气体供应单元、抽气除尘单元和气压平衡控制件，密封罩体用于罩设于晶圆载物台之外，并与该载物台表面共同形成一封闭腔室，吹扫气体供应单元与密封罩体相连通，用于向腔室内供给吹扫气体，以使晶圆载物台表面的污染物悬浮，抽气除尘单元与密封罩体相连通，用于将悬浮有污染物的气体抽出并收集，气压平衡控制件用于在吹扫阶段维持腔室内外气压平衡，并在抽气阶段封闭腔室以形成负压环境，该清洁装置使用无接触式的方式进行清洁晶圆载物台，能够达到彻底清洁晶圆载物台的效果，而且降低了清洁过程中对晶圆载物台损坏的风险。
天眼查资料显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目197次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息1161条，此外企业还拥有行政许可57个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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