北京
10月13日，截至13:24，半导体材料设备指数上涨1.41%。个股方面，中科飞测、拓荆科技等涨超5%，华海清科涨超2%，芯源微、长川科技、盛美上海等涨超1%，北方华创、江丰电子等上涨。
消息面上，10月13日，荣芯半导体、铠侠、南亚科技分别取得半导体相关发明专利；粤芯半导体正式登陆创业板，公司聚焦180nm至55nm成熟制程特色工艺，八大工艺平台覆盖模拟芯片、数模混合等场景，是大湾区“链主”级晶圆代工平台，其产能爬坡与后续扩产，将为光刻胶、电子特气等半导体制造材料带来国产替代与需求增长机遇；微导纳米公告拟定增募资不超过49.44亿元，加码先进半导体设备的尖端技术研发与产业升级，募投项目围绕原子层沉积、化学气相沉积等薄膜沉积技术主营业务展开，当前微导纳米半导体设备业务进入高速扩张期，截至2026年6月，半导体设备在手订单规模达26.98亿元；国内半导体设备企业京仪装备已掌握晶圆传片设备等核心产品技术，温控设备、工艺废气处理设备等产品可满足晶圆厂生产需求，废气处理效率超99%。10月12日，2026国芯展在上海工博会开幕，300余家半导体产业链企业参展，华虹集团与北方华创、中微公司等四家国内半导体设备龙头签署战略合作协议；ASML宣布将从2027年1月起上调对韩供应的全部光刻机替换零部件价格，涨幅10%；日本JSR、东京应化、信越化学三大光刻胶巨头于10月1日起执行全新提价后的定价体系。9月17日，第十四届半导体设备材料及核心部件展落幕，吸引全球25个国家和地区1400余家产业链企业参展，完整覆盖半导体全产业链领域。9月，工业和信息化部、国家发展改革委印发《电子信息制造业发展“十五五”规划》，提出到2030年，我国电子信息制造业规模以上企业营业收入突破30万亿元。
中国银河证券指出，晶圆扩产投资中70%-80%资金将用于设备采购，半导体设备业绩确定性最强，半导体设备国产替代进程有望提速。
半导体设备ETF易方达（159558）紧密跟踪半导体材料设备（931743.CSI），该指数由40只业务涉及半导体材料、半导体生产设备的公司股票组成，半导体设备、半导体材料行业合计占比超85%，聚焦半导体产业核心配套环节。
该ETF另有联接基金为（021893、021894）覆盖场外渠道。
统计显示，易方达是业内半导体产业链指数产品布局最全的公司之一，旗下既有聚焦上游材料设备环节的半导体设备ETF易方达（159558），布局中游芯片设计环节的科创芯片设计ETF易方达（589030），也有覆盖半导体全产业链的芯片ETF易方达(516350)以及科创芯片ETF易方达（589130）。
风险提示：基金有风险，投资须谨慎。ETF为场内交易型指数基金，二级市场价格存在折溢价与流动性风险，基金表现与跟踪指数可能存在跟踪误差，过往业绩不代表未来收益。
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