北京
国家知识产权局信息显示，九方流体系统技术（深圳）有限公司申请一项名为“一种ALD原子沉积阀及其应用方法”的专利，公开号CN122880919A，申请日期为2026年9月。
专利摘要显示，本发明涉及沉积阀技术领域，提出了一种ALD原子沉积阀及其应用方法，包括阀体和阀座总成，其中，阀体设置有输入流道、输出流道、连通输入流道和输出流道的连通腔，以及设置在输入流道和输出流道之间的连通孔，连通孔一端延伸至阀体的外侧；阀座总成包括对应输入流道末端并连接阀体的内环板，与内环板同轴并与阀体可拆卸连接的外环板，夹持于内环板与外环板之间的阀座，以及抵持阀体、内环板、外环板及阀座的加热环，加热环局部对应连通孔的端部。本发明对阀体外部加热导致的热传导滞后问题，使热量能够直接、均匀地传递至前驱体流经的关键密封界面，确保阀座区域与流道温度高度一致，从而消除局部冷点，能够显著提升工艺的稳定性。
天眼查资料显示，九方流体系统技术（深圳）有限公司，成立于2020年，位于深圳市，是一家以从事零售业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，九方流体系统技术（深圳）有限公司参与招投标项目142次，财产线索方面有商标信息11条，专利信息59条，此外企业还拥有行政许可7个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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