北京
国家知识产权局信息显示，苏州新施诺半导体设备股份有限公司申请一项名为“一种气体吹扫装置及方法”的专利，公开号CN122892499A，申请日期为2026年7月。
专利摘要显示，本发明公开了一种气体吹扫装置及方法，主要涉及气体吹扫装置技术领域。本发明的气体吹扫装置包括载具停靠件和气路组件，还可以包括控制组件、控制器和基座，气体吹扫方法包括将晶圆载具放置在载具停靠件上；通过进气嘴供应第一气体和/或第二气体，然后通过排气嘴排出气体。本发明能够实现两种气体的双模式供气，先进制程中可使用通入氮气的工位保证惰性氛围，非关键工序或成本敏感时段可切换至通入洁净干燥空气的工位以降低运营成本，使设备能够灵活适应不同晶圆厂的气源条件和成本策略，通过抽真空结构与密封圈在载具停靠件的进气嘴和排气嘴处形成负压吸附腔，能够降低吹扫过程中的气体泄漏率，确保载具内部低氧/低湿环境的稳定维持。
天眼查资料显示，苏州新施诺半导体设备股份有限公司，成立于2022年，位于苏州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本140929.7922万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州新施诺半导体设备股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目19次，财产线索方面有商标信息3条，专利信息111条，此外企业还拥有行政许可15个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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