来源:问董秘
投资者提问:
碳化硅(SiC)作为第三代半导体的核心材料取得三大核心技术突破:首创热化学与超高温“双步一炉”超高纯石墨提纯技术,将石墨基体纯度提升至99.99995%(6N5)以上;研发出高均匀高致密TaC涂层工艺,涂层产品使用寿命突破600小时;带动SiC单晶生产良率从55%提升至70%;创制了多场耦合精准控制化学气相沉积装备,实现了高均匀TaC涂层石墨件批量稳定制备,成本较进口产品降低30%。都供应哪些企业
董秘回答(楚江新材SZ002171):
尊敬的投资者,您好!公司在碳化硅半导体配套领域的高纯石墨提纯、TaC 涂层制备及相关热工装备技术成果,目前已于多家长晶、外延领域的企业验证应用中。感谢您的关注!
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