广东
在半导体晶圆制造中，排气管路与晶圆接触的部件对金属离子析出有严格限制。普通软管在使用中可能释放微量金属离子或颗粒物，吸附在晶圆表面导致缺陷率上升。排查设备、气体、环境后仍找不到原因时，往往忽略了管路本身这个变量。
这根软管管壁为PTFE层，不含纤维，无油污、粉尘、杂质等异物析出，从材料源头降低了对晶圆造成接触性污染的可能。
管壁不含纤维：异物析出的源头控制
管壁采用PTFE层，不含纤维成分。在抽取和鼓风过程中，无油污、粉尘、杂质等异物析出。与含纤维编织层的软管相比，避免了纤维断裂脱落成为颗粒污染源的可能。适用于细小粉尘和少量纤维的输送，以及蒸汽和烟等活性介质的抽取。
外置螺旋龙骨：大口径下的结构支撑
外增强层采用外置螺旋金属龙骨加强，材质可选镀锌钢或不锈钢SUS304L/SUS316L。在正压输送和真空抽吸中抵抗管壁鼓胀与吸瘪。外置龙骨使软管在地面拖拽时磨损集中在龙骨凸起，管壁本身不被磨到。具有较好的机械性能和弯曲半径，同时具备耐磨损及耐强腐蚀性能。
超轻可压缩与宽温区
极轻型和可压缩结构，在设备密集的半导体厂房内便于搬运和安装。工作温度-70℃至260℃，短时间可约300℃。耐老化、耐候及耐臭氧性能良好，适用于长期运行的洁净空调和通风装备。
两级洁净清洗选项
针对与晶圆接触的部件，可订做两级清洗：二级清洗去除微米级颗粒物，在千级洁净环境下用15MΩ以上去离子水或超纯水超声清洁，氮气吹扫，黑光灯或紫外灯目视检查，双层真空包装。一级清洗额外去除金属离子，增加酸洗工序，采用18MΩ以上超纯水超声清洁，检测方法为VPD ICP-MS，适用于半导体风管、晶圆通风管、芯片排气管等超高洁净场景。
当管路不再是污染源，良率问题的排查范围才能缩小到真正需要关注的地方。
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