北京
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国家知识产权局信息显示，天津朗道科技有限公司申请一项名为“一种可快速更换氙灯的激光维持等离子体宽谱光源”的专利，公开号CN122889678A，申请日期为2026年7月。
专利摘要显示，本发明公开了一种可快速更换氙灯的激光维持等离子体宽谱光源，针对现有LSP光源氙灯更换校准繁琐、拆装适配性差、光路易振动偏移、等离子体激发效果弱等技术缺陷优化设计。本发明包括集成光源箱与可拆卸快拆氙灯箱，支持滑动卡装、旋转拧装两种拆装模式。快拆氙灯箱内置标准化更换单元，氙灯、聚光镜片、密封窗片出厂前完成一体化同轴标定。集成光源箱内部光路组件搭配多重定位锁止防振结构，光路排布规整，可集中激光能量稳定激发等离子体。本发明可实现氙灯模块免校准快速替换，适配固定工位与多角度辐照等多场景，有效提升光谱输出稳定性与光源辐射效果，同时模块化结构大幅降低设备生产、运维及备件成本，适配半导体精密检测连续作业场景。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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