国家知识产权局信息显示,京和显达微电子科技有限公司申请一项名为“一种剥离液组合物及其制备方法与应用”的专利,公开号CN122883422A,申请日期为2026年7月。
专利摘要显示,本发明涉及蚀刻技术领域,具体的,涉及一种剥离液组合物及其制备方法与应用。按重量百分比计,组分包括:有机胺10‑25%、环状胺10‑15%、有机溶剂40‑50%、缓蚀剂0.01‑0.2%、表面活性剂0.01‑3%;所述有机胺和环状胺的重量比为1:(0.8‑1.5)。本发明通过限定有机胺和环状胺的重量比为1:(0.8‑1.5),用于光刻胶剥离工艺,可提高PR胶剥离性能,无残胶残留且不腐蚀基片;本发明通过限定剥离液组合物中还包括0.3‑3wt%的助溶剂,且助溶剂的分子结构中含有酯基和2‑5个苯环,可降低离子残留,避免器件电性能劣化。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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