国家知识产权局信息显示,JSW AFTY公司申请一项名为“半导体装置的制造方法”的专利,公开号CN122892970A,申请日期为2025年2月。
专利摘要显示,在低温下制造高质量的N极性氮化镓层。半导体装置的制造方法包括形成N极性氮化镓层的工序。N极性氮化镓层通过使用等离子体进行成膜的装置形成,所述等离子体利用电子回旋共振现象产生。
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作者:情报员
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