北京
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国家知识产权局信息显示，合肥维信诺科技有限公司申请一项名为“干法刻蚀设备、干法刻蚀方法及显示面板”的专利，公开号CN122892494A，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，本申请公开了一种干法刻蚀设备、干法刻蚀方法及显示面板，干法刻蚀设备用于制备显示面板，包括工作腔室、刻蚀机构以及第二侦测结构，工作腔室包括顶壁、底壁以及围合于顶壁与底壁之间的第一壁与多个第二壁，第一壁与第二壁可活动地连接以切换工作腔室的开放或封闭，至少一个第二壁设置有第一侦测结构，底壁设有用于固定基板的载台；刻蚀机构设置于工作腔室内并用于对载台固定的基板进行刻蚀；第二侦测结构设置于第一壁，第二侦测结构包括图像获取单元及套设于图像获取单元外的保护件，保护件包括活动连接的第一开合部与第二开合部；其中，保护件被配置为：当刻蚀机构启动，保护件关闭；当刻蚀机构停机并间隔第一时长，保护件开启。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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