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国家知识产权局信息显示，无锡亘芯悦科技有限公司申请一项名为“一种扫描电镜的成像矫正方法、装置、计算机设备”的专利，公开号CN122889657A，申请日期为2026年7月。
专利摘要显示，本申请涉及一种扫描电镜的成像矫正方法、装置、计算机设备。扫描电镜包括双偏转器、可移动光阑和物镜，所述方法包括执行下述单次矫正过程：获取双偏转器的初始增益比；在初始增益比的预设调节范围内，得到不同增益比对应的第一扫描图像；基于第一扫描图像的变异系数，确定双偏转器的目标增益比；响应于可移动光阑的移动指令，得到不同可移动光阑位置下的第二扫描图像；基于第二扫描图像的变异系数，确定可移动光阑的目标位置；响应于物镜聚焦值的调节指令，得到不同物镜聚焦值对应的第三扫描图像；基于第三扫描图像的中心子区域清晰值，确定物镜的目标聚焦值；获取第四扫描图像，若第四扫描图像的变异系数小于预设收敛阈值，结束矫正流程。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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