国家知识产权局信息显示,松山湖材料实验室、东莞市卓聚科技有限公司申请一项名为“扫描电子显微镜”的专利,公开号CN122868387A,申请日期为2026年6月。
专利摘要显示,本申请提供了一种扫描电子显微镜,自旋极化电子源被配置为用于产生自旋极化电子束,自旋极化电子束被配置为用于朝向样品照射,电子光学系统装配至自旋极化电子源与样品之间,电子光学系统被配置为用于将自旋极化电子束聚焦并偏转至样品的待测区域,探测器被配置为用于收集自旋极化电子束与样品相互作用后产生的信号电子,基于信号电子的强度获取样品的磁畴信息。自旋平行于磁化方向的电子散射较弱、逃逸深度更大、信号强度更高,而自旋反平行的电子散射更强、更易被吸收或衰减。本申请直接利用自旋极化电子束作为入射探针,通过探测信号电子的强度来获取磁畴信息,无需设置复杂的自旋探测器,从而简化了设备结构、降低了设备成本。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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