北京
国家知识产权局信息显示，华虹半导体（无锡）有限公司申请一项名为“创建Dose mapper配方的方法及存储介质”的专利，公开号CN122860861A，申请日期为2026年6月。
专利摘要显示，本发明公开了一种创建Dose mapper配方的方法，包括：1）数据采集，获取已量产产品的AEICDU原始全图数据；2）数据拆分，通过算法，将所述AEICDU原始全图数据拆分为场间CD数据和场内CD数据；3）数据组合，将拆分得到的场间CD数据与新布局（NTO）对应的Layout数据组合，生成适配新布局的组合数据；4）配方创建，基于所述组合数据创建新的DOMA子配方；5）配方验证，预跑一片搭载所述新DOMA子配方的晶圆，依次完成曝光、ETCH刻蚀和AEIOCD量测，验证CD数据是否满足预设规格要求。本发明突破现有技术需针对新布局单独采集全图数据创建DOMA配方的限制，利用量产产品AEI CDU数据中场间CD数据与Layout无关的特性，仅需一次预跑验证即可完成配方适配。
天眼查资料显示，华虹半导体（无锡）有限公司，成立于2017年，位于无锡市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本253685.180069万美元。通过天眼查大数据分析，华虹半导体（无锡）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目2953次，专利信息2209条，此外企业还拥有行政许可119个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
本文源自：市场资讯
作者：情报员
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
