北京
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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体工艺设备”的专利，公开号CN122856155A，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，本公开提供一种半导体工艺设备，其包括：工艺腔室；载片舟，设置于所述工艺腔室中；射频馈入组件，与所述载片舟电连接，用以向所述载片舟提供射频能量；供气组件，与所述工艺腔室的进气口连接，用于为所述工艺腔室提供工艺气体；以及远程等离子体供应组件，用于产生等离子体并传输到所述工艺腔室中的靠近所述进气口的区域。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目1523次，财产线索方面有商标信息75条，专利信息5968条，此外企业还拥有行政许可337个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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