国家知识产权局信息显示,泛林集团(萨尔斯堡)有限公司申请一项名为“用于化学和/或电解表面处理的基板加锁系统”的专利,公开号CN122856318A,申请日期为2018年7月。
专利摘要显示,本发明涉及一种用于基板在工艺流体中的化学和/或电解表面处理的基板加锁系统,一种用于基板在工艺流体中的化学和/或电解表面处理的装置,以及一种用于基板在工艺流体中的化学和/或电解表面处理的基板加锁方法。用于化学和/或电解表面处理的基板加锁系统包括第一元件、第二元件和加锁单元。第一元件和第二元件被配置成将基板保持在彼此之间。加锁单元被配置成将第一元件和第二元件彼此锁住。加锁单元包括磁体控制部和至少一个磁体。磁体布置在第一元件和第二元件中的一个处。磁体控制部被配置成控制第一元件和第二元件之间的磁力。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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