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在福建省龙岩市上杭县的金铜产业园里,一条总投资16.8亿元的半导体生产线已经完成厂房建设。这条产线聚焦氧化镓压电薄膜高频滤波器芯片,预计2026年底进入试产阶段。
一个闽西山区县,为什么能把全球首条超宽禁带半导体高频滤波芯片生产线建在这里?这背后既有技术路线的突破,也有一个资源型县域产业转型的长期布局。
滤波器芯片:5G手机里那颗容易被忽略的核心器件
每一部5G手机里都有几十颗滤波器芯片。它的作用是在拥挤的无线电频段中筛选出特定频率的信号,同时过滤掉杂波——相当于通信链路上的“安检门”。
滤波器性能直接决定了手机信号是否稳定、通话是否清晰。长期以来,全球高频滤波器市场主要由国外企业主导,核心压电材料以氮化铝体系为主,美日企业在专利布局上形成了较高的壁垒。
晶旭半导体选择了一条不同的技术路线。公司技术团队深耕声波滤波器制备领域十余年,摒弃了传统的氮化铝路线,转向硅基异质外延ε相氧化镓压电薄膜材料。2023年,该团队在这一材料方向取得中试关键技术突破,相关样品随后进入下游客户验证阶段。
从技术指标看,晶旭自研的氧化镓压电薄膜核心性能较国外同类产品有所提升,公司已获授权国内外发明专利100余项。在核心装备端,企业自主研发了国际首台ε相氧化镓外延专用MOCVD设备,薄膜均匀性控制在2%以内,材料内部缺陷C轴取向度超过98%。
依托自研薄膜技术,晶旭已量产高良率氧化镓基POI晶圆,产品良率超过97%,可支撑2GHz至10GHz超高频滤波需求,带内插损低于2dB,功率容量较传统滤波器提升一倍。商业化方面,相关外延片及晶圆已导入国内Fabless、IDM及晶圆代工厂的客户验证流程,预计2026年底实现批量交付;硅基异质外延工艺相较传统方案成本降低约50%。
一个山区县的产业转身
上杭县过去的经济支柱是金铜矿开采和冶炼。紫金矿业从这里起步,2025年上杭金铜产业产值达到1222亿元,是龙岩市唯一的千亿级产业集群。
但资源型经济的天花板是显而易见的。上杭县很早就开始推动产业从“卖原料”向“做材料”升级,逐步延伸出铜箔、键合丝等电子材料产品,进而切入半导体新材料赛道。
晶旭半导体的落地,是这条升级路径上的关键一步。公司董事长王孟源是土生土长的上杭人,他清晰记得年幼时家乡“掘山挖矿”“开山做水泥”的场景。让他下决心留在家乡创业的,正是上杭逐渐形成的产业氛围。近年来,吉利、巴斯夫、宁德时代、传化等一批世界500强和中国500强企业项目陆续落地,让这个曾经的山区县有了更完整的产业配套。
在人才方面,晶旭柔性引进了中山大学光电材料与技术国家重点实验室王钢教授作为首席科学家,由技术带头人担任企业研发高管参与经营管理。王钢同时担任上杭县半导体新材料产业链特聘专家团团长。该专家团组建于2025年8月,聘请王钢教授为团长、中关村半导体照明工程研发及产业联盟秘书长阮军为副团长,成员还包括来自天津大学、中山大学和日月新集团的5位专家,在技术攻坚和项目合作方面提供支持。
上杭县在服务项目建设上也下了功夫。当地通过“千名干部挂千企”和“一企一专班”等机制,点对点帮扶企业解决建设中的实际困难。晶旭二期项目2023年12月开工建设,目前厂房大楼已竣工,内部装修完成95%,洁净车间接近完成,机电设备已陆续入场。
产业链的自主可控价值
氧化镓属于超宽禁带半导体材料,禁带宽度约4.9eV,高于氮化镓的3.39eV和碳化硅的3.2eV。这种材料特性使其在高频段下的信号损耗更低、稳定性更高,适合5G/6G通信、卫星互联网、高精度雷达等场景。
当前全球氧化镓产业仍处于产业化早期,美日等先发国家在衬底、外延和器件技术方面形成了较强的壁垒。国内产业链面临高质量外延片供应不足、同质衬底成本较高等问题,晶旭在硅基异质外延路线上的突破,为绕过这些瓶颈提供了一种可行方案。
从产业布局看,上杭已初步形成半导体新材料产业集群。2024年,上杭半导体新材料产业24家上下游企业总产值突破172亿元。德尔科技的电子级特种气体、天甫电子的半导体级电子材料等项目已投产,天甫厦化40万吨高纯硫酸项目、德尔科技年产1万吨电子级三氟化氮项目也在推进中。引线框架、光刻胶等产业链上下游项目正在加速对接,产业集聚效应逐步显现。
晶旭二期项目投产后,将建成全球首条超宽禁带半导体高频滤波芯片生产线,首批产线规划年产能400kk(4亿颗),二期项目达产后预计年产值约10亿元。对于国内射频前端产业链来说,这意味着在高频滤波器这个长期依赖进口的关键环节,有了一个自主可控的产业化选项。国内手机高频通信滤波芯片长期高度依赖进口,行业普遍估算进口占比超过95%,国产化供给严重不足。这个项目的投产具有实质性的补链意义。
从金铜冶炼到半导体材料,上杭的转型故事说明,县域经济的产业升级不一定只能沿着传统路径延伸。在技术密集型领域,只要找准切入点并持续投入,山区县同样可以参与到全球半导体产业链的分工当中。
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