氮化硅盖层怎样给沟道加上拉应力或压应力

沟道里的载流子走得快不快，和晶格被拉还是被压有关。氮化硅可以盖在做好的管子上，靠膜自身的应力把沟道拉开或压紧。这一层是盖上去的。不是长进源漏里面、用来把晶格拉紧的那一层。嵌进源漏的做法，解决的是另一件事。

一种管子要拉应力，电子才走得更顺。另一种要压应力，空穴才走得更顺。两种膜的做法不同，不能盖成同一种。盖反了，形貌都是一层氮化硅，驱动却整组变差。先分清这一区域要的是拉还是压，再谈厚度。

盖得好的膜，从栅极顶上连下来，贴着两侧，一直铺到源漏表面，中间不断。截面上能看见它骑在栅极上，像一层连续的盖。断在半腰，应力传不到沟道。只量顶上的厚度，半腰已经断了也发现不了。

应力的方向由成膜时的条件定。温度、功率和膜里的含氢量，会把同一类氮化硅做成拉或者压。条件漂一点，拉会变成弱拉，甚至变成压。厚度还在带子里，应力方向已经反了。厚度图不能代替应力的测量。

膜太薄，应力不够，驱动几乎不提升。膜太厚，晶圆会被膜拉弯，后面的曝光对不齐，边缘还会出现滑移。厚度按这一代沟道来定。不能沿用只求把表面盖严的那种厚度。这里要的是应力，不是只求盖住。

两种管子做在同一片上时，通常先盖一种应力的膜，把不需要的区域去掉，再盖另一种。去掉若没去净，两种应力叠在同一只管子上，作用互相抵消。去掉时若伤到要留的那一种，留下的膜会变薄。两步要分开查。

去掉用的掩模若套偏，边界会切进不该切的管子。边界附近一半是对的应力，一半是错的，驱动在版图边界上突然变差。这不是厚度环能解释的。先看边界落在哪一种管子上，不要先改成膜的功率。

栅与栅靠得很近时，膜盖得住顶，却进不了缝。缝底是空的，应力没有骑到沟道上。密的地方驱动上不来，孤立的大管子却正常。只剖孤立的管子，产品里最密的那一组会整组没有应力。放行要剖最小间距的那一组。

缝里的膜若只搭上一半，应力是偏的，沟道一侧受力、另一侧不受力。管子的特性会变歪，不是单纯变弱。截面要看缝底有没有膜，不要只看顶上连不连续。顶上连续、缝底是空的，这一片不能按顶上放行。

膜上若裂开，应力会从裂缝处卸掉。裂缝旁边的沟道等于没有这层膜。裂缝可能很细，厚度的平均值仍然合格。电学是局部变差，不是整片一起变。先找裂缝，不要先把整层加厚。加厚会让没裂的地方更弯。

裂缝常从栅的肩角开始。肩角是膜转弯的地方，应力最集中。顶上平整、肩角已经裂，平面监测膜上看不见。平面膜没有肩角。放行要用和产品一样有栅的结构，不能用一块平整的膜代替。

后面的加热会让膜里的氢跑掉，应力跟着变。当站量到的拉应力，加热之后可能变弱。新增的热步骤要重测应力，不能沿用当站的数字。当站合格、加热后驱动掉下去，先查这层膜，不要先改沟道的掺杂。

裂开的口要和没长上的空隙分开。裂口两边的膜还在，中间是一道断开的缝，缝边常常翘起。没长上的空隙是从底就空着，边是齐的。只写一个不连续，后面不知道该降应力还是该补覆盖。抽查要把裂还是没盖上写清楚。

片内要分开看：应力方向对不对，密栅的缝里有没有膜，肩角有没有裂。方向错，多半是成膜条件或两种膜盖反了。缝里没有，多半是间距太小，膜铺不下去。肩角裂，多半是应力太高或厚度太厚。只加厚，裂缝会更多。

边缘散热不同，边缘的应力常常弱一圈，或者反向。只抽中心，边缘整圈的驱动会到电学才暴露。应力图要把边缘放进去。中心是拉、边缘已经变成弱压，不能按中心放行。

晶圆弯曲要单独量。膜的应力会把整片拉弯，弯大了，后面每一层的对准都会受影响。弯曲和局部裂缝不是同一件事。弯曲是整片的弧，裂缝是局部的口。只报弯曲，肩角的裂缝仍然会漏过去。

源漏表面若还有残留，膜会盖在残留上，局部拱起，应力传不实。拱起的地方截面上膜是空心的。这和膜本身裂开不同。先看长膜之前的表面，不要先改氮化硅的功率。功率改了，拱起还在。

换气或清腔之后，应力方向会跳。刚清完的前几片当陪片。壁上的残留会改变膜里的含氢量，厚度没变，方向先变。按片数清理。清完不跑陪片，第一片正式片的驱动会整片偏。陪片的应力不要写成正式片的目标。

同一片上横向和纵向的沟道，受力的方向相对栅是不同的。两个方向分开测驱动。只测一个方向，另一个方向没有吃到应力也发现不了。换版图时若把沟道转了向，旧的方向就不能再用。

整条链路是：拉和压按管子种类盖对，膜从栅顶连到源漏不断，密栅的缝里也有膜，肩角不裂，加热之后应力还在，整片不被拉弯到对不齐。顶上量着连续，缝底却是空的，或者肩角已经裂开，就不要把这片送去后面。方向和厚度必须分开报。

应力要在做好的管子上量，不能只在一块没有栅的平面膜上量。平面膜没有肩角，也没有密栅的缝，读数常常偏高。把平面膜的读数写成产品的目标，密栅上的沟道其实没吃到力。放行的监测结构要和产品的最小栅距同一套。

两种膜的边界若落在沟道正中，一只管子一半受拉、一半受压。驱动不是变弱一点，而是特性扭掉。边界要落在管子与管子之间的隔离区。落进沟道，先改掩模的套准，不要先改成膜的功率。功率改了，边界还在沟道里。

膜的应力会随存放慢慢松。当站刚量是够的，过了一夜再量可能已经掉出带子。存放时间写在卡上。超时的片子先重测应力，再决定还进不进。已经松掉的膜，加长后面的热时间补不回来，热只会让它更松。

同一炉里不同槽位，气流和温度不一样，应力方向可能一个槽位是拉、相邻槽位变成弱压。槽位要和应力绑在一起看。某个槽位连续反向，先查那个位置的功率和温度，不要把整炉的厚度一起加厚。厚度一加，已经偏厚的槽位会更弯。

沟道很短时，膜的力更多落在两侧，沟道中间吃到的少。短沟道和长沟道不能用同一个驱动提升来放行。只测长沟道，短沟道会整组没有提升。抽样把这一代最短的沟道放进去。

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