北京
国家知识产权局信息显示，合肥维信诺科技有限公司申请一项名为“离子注入设备及离子注入方法”的专利，公开号CN122868391A，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，本申请提供一种离子注入设备及离子注入方法，包括离子注入腔，离子注入腔包括：束流产生器，用于发出目标需求的离子束，目标需求的离子束具备离子注入所需离子种类或离子浓度；环形导轨，环形导轨包括第一轨道段和第二轨道段，第一轨道段和第二轨道段平行设置，第一轨道段和第二轨道段设置在离子束的出射方向上且垂直于离子束的出射方向，束流产生器到第一轨道段的距离小于束流产生器到第二轨道段的距离；至少两个载台，分别设置在环形导轨上，载台可沿环形导轨运动，至少两个载台用于放置不同的待注入基板，至少两个载台可依次移动至第一轨道段以便于依次对放置于载台上的待注入基板进行离子注入。本申请可以提高离子注入的均一性。
天眼查资料显示，合肥维信诺科技有限公司，成立于2018年，位于合肥市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2200000万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥维信诺科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目999次，专利信息4699条，此外企业还拥有行政许可43个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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