国家知识产权局信息显示,合肥维信诺科技有限公司申请一项名为“物理气相沉积设备及其制备方法”的专利,公开号CN122856113A,申请日期为2025年3月。
专利摘要显示,本申请属于物理气相沉积设备技术领域,提供了一种物理气相沉积设备及其制备方法,该物理气相沉积设备中的腔室壁的第一区域用于放置待处理基板,防着板中的防着板支撑架具有第一中心镂空区,防着板支撑架套设在待处理基板四周、且放置在腔室壁上,待处理基板位于防着板支撑架的第一中心镂空区;防着板本体的材料为钛合金,防着板本体包括多个子防着板本体,多个子防着板本体两端依次相连拼接而成的防着板本体具有第二中心镂空区,防着板本体固定于防着板支撑架远离腔室壁的一侧,多个子防着板本体的数量大于或等于4个、且小于或等于10个。本申请的物理气相沉积设备中的防着板本体的强度高、不易变形、寿命长、结构工艺简单,产品品质高。
天眼查资料显示,合肥维信诺科技有限公司,成立于2018年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2200000万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥维信诺科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目999次,专利信息4699条,此外企业还拥有行政许可43个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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