北京
国家知识产权局信息显示，合肥维信诺科技有限公司申请一项名为“干法刻蚀设备、气压校准装置、干法刻蚀方法、显示面板及显示装置”的专利，公开号CN122872013A，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，本申请涉及一种干法刻蚀设备、气压校准装置、干法刻蚀方法、显示面板及显示装置，该干法刻蚀设备包括刻蚀箱、检测组件校准组件，刻蚀箱内部形成空腔结构。检测组件设置于刻蚀箱外，检测组件包括连通于空腔结构的第一管路以及设置于第一管路上的第一检测压力计和第一控制件。校准组件包括连通空腔结构的第二管路以及设置于第二管路上的第一校准压力计和第二控制件，第一校准压力计用于对第一检测压力计进行校准。在校准阶段时，第一校准压力计与空腔结构之间通过第二控制件相互导通，在其他阶段时，第一校准压力计与空腔结构之间通过第二控制件相互隔开。在本申请中，该干法刻蚀设备提高检测反应腔室内部压力的压力计检测的准确度。
天眼查资料显示，合肥维信诺科技有限公司，成立于2018年，位于合肥市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2200000万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥维信诺科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目999次，专利信息4699条，此外企业还拥有行政许可43个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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