国家知识产权局信息显示,ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“在金属表面上使用选择性沉积形成结构的方法”的专利,公开号CN122856138A,申请日期为2026年3月。
专利摘要显示,公开了用于在金属表面上形成具有选择性沉积的结构的方法。示例性方法包括在反应室中提供衬底,可选地在金属表面上执行预处理过程,执行生长促进处理,以及在金属表面上或覆盖金属表面沉积膜。示例性生长促进处理包括脉冲含硼前体和执行吹扫。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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