国家知识产权局信息显示,湖州晶洲半导体科技有限公司申请一项名为“双面均匀喷淋显影液的基板输送显影装置及方法”的专利,公开号CN122860868A,申请日期为2026年7月。
专利摘要显示,本发明属于基板输送显影装置技术领域,公开了双面均匀喷淋显影液的基板输送显影装置及方法。双面均匀喷淋显影液的基板输送显影装置包括机架、多个支撑机构、驱动机构、限位机构和喷淋机构,前后间隔布置于机架下部的各支撑机构均包括多个支撑组件,相邻两个支撑机构的支撑组件左右错落布置;各支撑组件均包括支撑件和滚珠,支撑件下端与机架固定连接,滚珠转动安装于支撑件上端;驱动机构用于驱动各滚珠绕其轴线转动,以由前至后输送多个滚珠上承载的基板;限位机构布置于基板输送路径上方,用于限制基板向上、向左和向右的位移;喷淋机构用于在基板的上下表面喷淋显影液,该装置降低基板下表面支撑遮挡面积,均衡基板上下表面显影液喷淋效果。
天眼查资料显示,湖州晶洲半导体科技有限公司,成立于2025年,位于湖州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,湖州晶洲半导体科技有限公司专利信息11条,此外企业还拥有行政许可2个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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