北京
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国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“抵消带电粒子束系统中的干扰磁场”的专利，公开号CN122873001A，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，用于针对带电粒子束装置生成抵消磁场的装置包括线圈、被间隔开并且围绕X轴、Y轴、或Z轴中的每个轴被布置的各个线圈或者线圈对。控制器可以被配置为控制线圈对以在这些线圈对之间的中心位置处生成基本上均匀的磁场。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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