接触孔怎样从介质里打到下面的硅上

晶体管和上面的金属之间，要有一条垂直的通路。接触孔就是在绝缘介质上开出的小孔。孔底要落在源漏或栅极的硅上，侧壁要让后面的导电材料填得进去。孔没到底，这条通路是断的；孔打到旁边，该隔开的地方会连上。

孔的位置跟着上一层曝光。曝光偏了，孔会落在介质上，而不是落在硅上。这时把孔挖得再深，也接触不到该接触的表面，只会在错误的地方留下一个坑。所以先量孔的位置，再谈刻蚀深度。

孔又小又深。口上的反应产物出得去，底上的出得慢，底部容易停住。孔越深越窄，越要靠离子把底部的材料打掉，同时不能把侧壁啃宽。侧壁被啃宽，相邻的孔会在介质里穿通。

刻蚀要停在该停的材料上。孔上面是氧化物，孔底是硅或硅化物。对硅的选择比不够，到底之后还继续挖，浅结会被挖穿，漏电从孔底走。选择比够、终点却判晚，孔底会留一层残膜，电学上就是开路。大面积的孔先到底，密集的小孔后到底。过刻按最慢的孔来定，同时看最快的孔有没有挖穿结。

孔底的残渣最麻烦。聚合物和被打下来的碎屑会盖住硅。后面填金属时，金属和硅之间夹着这一层，电阻会很高，温度一高还可能鼓开。清底的时间要短，把底清干净，又不能把孔壁继续啃宽。清完用截面看底，不要只看平面上孔的直径。

孔的形状要接近直壁，或者口略宽于底，方便填充。口小底大，填充材料进不去底部。口大底小，相邻的孔在口部挤在一起。形状用截面量。平面直径只代表口。口合格、底还封着，平面检查看不出来。

填孔之前先长一层阻挡。阻挡挡住后面的金属往硅里扩散，也改善附着。阻挡太薄，盖不住侧壁；太厚，把本来就小的孔进一步收窄，填充更容易留空洞。阻挡厚度按侧壁最薄的地方来定，不按平面上的厚度。

填充要把孔从底到口填实。底部先长，口上不能先封。口先封了，孔里留下空洞。空洞在后面的热过程里会移动，可能移到孔口，变成一个坑。填充之后剖最深、最窄的孔。宽孔填得满，不代表窄孔也满。

填完要把孔口以上多余的材料磨掉，让这一层回到同一高度。磨多了，孔里的材料凹下去，下一层金属要跨这个台阶。磨少了，填充材料还连成一片，该分开的孔连在一起。这一刀要停在介质上，不能把介质磨出新的高度差。

密集区和孤立区的孔不一样。密集区刻蚀负载大，孔更浅或更窄。孤立孔先到底，密集孔后到底。只抽孤立孔，会以为已经齐了。抽样要把最密的阵列放进去。

中心和边缘的孔深也会差。气流和温度的径向差，会变成深度差。深度图成环，先查温度和气体；成扇，先查喷头。不要先加过刻时间。时间一加，已经到底的孔会继续往结里挖。

接触电阻偏高，可能是孔没到底，可能是底有残渣，可能是阻挡太厚，也可能是下面的硅化物没做好。这几种在电阻数字上很像，要用截面分开。只改刻蚀时间，残渣的问题还在。电阻整片偏高，先看是不是都没到底；成圈偏高，先看径向深度。

栅极上的孔和源漏上的孔，底部材质不一样，刻蚀停下来的手感也不一样。同一套时间硬套，一种底清了，另一种被挖过。能分开的步骤就分开。不能分开时，时间按更难停的那种底来收，同时看另一种有没有挖穿。

孔壁粗糙，阻挡就盖不严。粗糙来自刻蚀时聚合物不稳定。侧壁要在截面里看，不只看孔是不是圆的。圆而壁花，填充和阻挡都会出问题。

换刻蚀配方或换填充配方时，先走试验片。孔深变了，填充的深宽比变了，原来能填实的配方可能开始留洞。试验片把孔深、底是否干净、侧壁阻挡、有没有空洞、接触电阻对齐，再锁给整批。

掩模厚度不够，孔还没到底，掩模先被打穿，口会变大。掩模厚度按这一刀的时间和选择比留余量。余量不够，先加掩模，不要只把刻蚀时间缩短。时间一短，孔会更浅。

孔打开之后还要把胶和聚合物去掉，又不能伤到孔底。去得过重，孔底的硅化物被咬薄，接触电阻升高。去胶和清底是两步，各有各的终点，不能用加长其中一步去补另一步。

正式片抽最密的阵列、边缘的场，以及栅和源漏两种底。三种里缺一种，问题会留到后面。抽样位置写在卡上，不能换成好抽的大孔。

孔打开之后，底在空气里是活的。停太久会重新氧化，氧化把电阻顶高。打开和下一步长阻挡之间的时间写在流程里。超过时间的片子先看电阻，再决定进不进下一步，不要默认它还和刚刻完一样。

孔与孔之间的介质必须还在。侧壁被掏通时，平面上仍是一个个圆孔，电学上却已经短路。短路的位置若沿着某一方向成串，先看刻蚀的聚合物和偏压，不要先把孔的直径设计改小。直径改小会让填充更难，掏通的原因还在。

整条链路是：位置先准，孔按深宽比挖到该到的底，选择比保住下面的结，残渣清净，阻挡盖住侧壁，填充不留洞，磨平不凹进孔里。孔是一条通的、彼此隔开的通路。没到底，或者底上还有膜，就不要送到后面当已经连上。

同一片上大孔和小孔的终点不一样。监测图形如果只有大孔，信号到了只说明大孔到底，产品里的小孔可能还差一截。监测图形要包含和产品一样小的孔。没有这种图形，就用产品区的截面来判终点，不能只用监测图形的光学信号。

填充之后的磨平如果把阻挡一起磨穿，金属会在孔口外摊开。摊开的一圈在平面上像孔变大了。相邻孔近的时候，这两圈会连上。磨平之后除了看高度，还要看孔口有没有一圈摊开的金属。有这一圈，先收磨平，不要先把孔的光刻改小。

孔底如果落在多晶硅上和落在单晶硅上，停止的信号不一样。多晶的表面更毛，残渣更容易挂住。同一片上两种底都有时，清底的条件按更难清的那种来，同时看另一种底有没有被挖深。只按单晶的信号停，多晶上的孔会留下一层膜。

相邻孔的间距小到和孔的直径同一量级时，光刻的邻近效应会让孔变椭圆。椭圆的长轴如果指向邻孔，侧壁被掏一点就会穿通。这种阵列要单独看长轴方向的介质还剩多少，不能只看孔的平均直径。平均直径合格，长轴方向可能已经快连上。

http://www.qihll.cn/m/75780432.html
http://www.t7a1q8.cn/m/59798698.html
http://www.jianlibang.cn/m/92121233.html
http://www.hygsk.cn/m/45930865.html
http://www.kythf.cn/m/81107528.html
http://www.biefengwo.cn/m/21780030.html
http://www.z6r3c7.cn/m/30584178.html
http://www.lmncbx.cn/m/36755642.html
http://www.h1y5r7.cn/m/38796253.html
http://www.yyjkgg.cn/m/50712381.html
http://www.xuanyuewenhua1314.cn/m/44661260.html
http://www.klunn.cn/m/39433317.html
http://www.sliekd.cn/m/11788300.html
http://www.zysvjr.cn/m/61204647.html
http://www.b8c2l6.cn/m/92175967.html
http://www.x2m8k4.cn/m/65721661.html
http://www.rylvyw.cn/m/43252491.html
http://www.baizeycs.cn/m/92037294.html
http://www.qingyant.cn/m/52781841.html
http://www.qingyani.cn/m/54830930.html
http://www.tjyuce168.cn/m/97669137.html
http://www.xiaofengyu.cn/m/69179357.html
http://www.xvfahz.cn/m/25498761.html
http://www.qingyant.cn/m/86172428.html
http://www.u9p5j1.cn/m/21111186.html
http://www.lmncbx.cn/m/14309837.html
http://www.itoj.cn/m/47287163.html
http://www.jxcanzhang.cn/m/78891489.html
http://www.p7q1z5.cn/m/60809350.html
http://www.n2d8f4.cn/m/33496749.html
http://www.yjkf568.cn/m/51081496.html
http://www.xhpxad.cn/m/46576902.html
http://www.xuanyuewenhua1314.cn/m/60398329.html
http://www.r4g7k2.cn/m/72434171.html
http://www.g5m0x2.cn/m/31564744.html
http://www.sliekd.cn/m/32817289.html
http://www.qingyant.cn/m/17858999.html
http://www.w3s8a6.cn/m/85698729.html
http://www.kttjyhwy.cn/m/55147169.html
http://www.suheqing.cn/m/60018603.html
http://www.l5b1y9.cn/m/84041037.html
http://www.gdiipxp.cn/m/73373405.html
http://www.opqoas.cn/m/47185048.html
http://www.qihll.cn/m/14225310.html
http://www.xhpxad.cn/m/43837259.html
http://www.jrpsna.cn/m/36623057.html
http://www.fyghj.cn/m/45089739.html
http://www.opqoas.cn/m/42249807.html
http://www.poypwb.cn/m/84743086.html
http://www.tjyuce6.cn/m/88668552.html
http://www.odteuz.cn/m/49932963.html
http://www.poypwb.cn/m/63546525.html
http://www.gdiipxp.cn/m/30913386.html
http://www.c7d4x3.cn/m/45375594.html
http://www.suheqing.cn/m/18282371.html
http://www.youan66.cn/m/30668762.html
http://www.xiaofengluo.cn/m/84298969.html
http://www.opqoas.cn/m/60880464.html
http://www.jianlibang.cn/m/20410576.html
http://www.kttjyhwy.cn/m/59273643.html
http://www.itoj.cn/m/35508104.html
http://www.baizeycs.cn/m/57351643.html
http://www.qingyant.cn/m/62544101.html
http://www.biefengwo.cn/m/91096887.html
http://www.tjyuce8.cn/m/32930601.html
http://www.youan66.cn/m/57759862.html
http://www.p7q1z5.cn/m/65487932.html
http://www.tjyuce168.cn/m/64894309.html
http://www.xhpxad.cn/m/88119645.html
http://www.s4v9e3.cn/m/19469098.html
http://www.youan66.cn/m/20816449.html
http://www.t7a1q8.cn/m/69472998.html
http://www.tjyuce6.cn/m/48633307.html
http://www.t7a1q8.cn/m/99437581.html
http://www.qingmiaomiao.cn/m/60419917.html
http://www.qingmiaomiao.cn/m/43684284.html
http://www.jxcanzhang.cn/m/56312678.html
http://www.grkqvf.cn/m/94653703.html
http://www.xuanyuewenhua1314.cn/m/43275583.html
http://www.n2d8f4.cn/m/62494158.html
http://www.itoj.cn/m/97932482.html
http://www.bwtone.cn/m/93024112.html
http://www.b8c2l6.cn/m/92109323.html
http://www.d9n4t2.cn/m/69830428.html
http://www.kttjyhwy.cn/m/32036556.html
http://www.kttjyhwy.cn/m/52256445.html
http://www.xhpxad.cn/m/99051284.html
http://www.ituf.cn/m/71198980.html
http://www.rylvyw.cn/m/99757547.html
http://www.ituf.cn/m/70503548.html
http://www.jxcanzhang.cn/m/63862885.html
http://www.hygsk.cn/m/96027981.html
http://www.jianlibang.cn/m/63997586.html
http://www.baizeycs.cn/m/66365794.html
http://www.p7q1z5.cn/m/10006243.html
http://www.xajkyhs.cn/m/28775808.html
http://www.f6j3w8.cn/m/90992992.html
http://www.t56985.cn/m/23433423.html
http://www.poypwb.cn/m/13966526.html
http://www.bwtone.cn/m/23611033.html
http://www.ituf.cn/m/14426262.html
http://www.yyjkgg.cn/m/30957830.html
http://www.sliekd.cn/m/78051521.html
http://www.jrpsna.cn/m/57103119.html
http://www.l5b1y9.cn/m/26331832.html
http://www.t56985.cn/m/19925449.html
http://www.r4g7k2.cn/m/84207567.html
http://www.xiaoniaohuichong.cn/m/99503515.html
http://www.l5b1y9.cn/m/38592103.html
http://www.qingyani.cn/m/36267978.html
http://www.yjkf568.cn/m/99164191.html
http://www.b8c2l6.cn/m/24404668.html
http://www.rylvyw.cn/m/19033745.html
http://www.yjkf568.cn/m/17965183.html
http://www.qingyani.cn/m/18559324.html
http://www.w3s8a6.cn/m/44990526.html
http://www.ymwmxi.cn/m/46196343.html
http://www.kttjyhwy.cn/m/98582525.html
http://www.tjyuce6.cn/m/94045341.html
http://www.jxcanzhang.cn/m/94470595.html
http://www.yyjkgg.cn/m/88094806.html
http://www.xhpxad.cn/m/23134079.html
http://www.itoj.cn/m/44730477.html
http://www.opqoas.cn/m/41199574.html
http://www.g5m0x2.cn/m/18350929.html
http://www.grkqvf.cn/m/37458027.html
http://www.gdiipxp.cn/m/87367836.html
http://www.huiju101.cn/m/72989521.html
http://www.f6j3w8.cn/m/99039526.html
http://www.hygsk.cn/m/90794877.html
http://www.jrpsna.cn/m/39497575.html
http://www.biefengwo.cn/m/94734928.html
http://www.g5m0x2.cn/m/44779166.html
http://www.youan66.cn/m/85728184.html
http://www.qlgyio.cn/m/87867005.html
http://www.rylvyw.cn/m/46982230.html
http://www.xiaoniaohuichong.cn/m/37689016.html
http://www.yjkf568.cn/m/74326506.html
http://www.youan66.cn/m/97999166.html
http://www.tjyuce168.cn/m/30792413.html
http://www.s4v9e3.cn/m/62298179.html
http://www.klunn.cn/m/97958292.html
http://www.xiaoniaohuichong.cn/m/87630739.html
http://www.tjyuce168.cn/m/60848181.html
http://www.qihll.cn/m/61340335.html
http://www.u9p5j1.cn/m/70142978.html
http://www.biefengwo.cn/m/72723252.html
http://www.tjyuce8.cn/m/91131797.html
http://www.tjyuce6.cn/m/59054694.html
http://www.poypwb.cn/m/31990221.html
http://www.qihss.cn/m/42453235.html
http://www.r4g7k2.cn/m/91680588.html
http://www.jxcanzhang.cn/m/47443303.html
http://www.itoj.cn/m/31951331.html
http://www.jrpsna.cn/m/19488081.html
http://www.biefengwo.cn/m/91648657.html
http://www.kythf.cn/m/96929283.html
http://www.xhpxad.cn/m/55029609.html
http://www.w3s8a6.cn/m/85421942.html
http://www.r4g7k2.cn/m/11005436.html
http://www.g5m0x2.cn/m/53517566.html
http://www.d9n4t2.cn/m/75573034.html
http://www.rylvyw.cn/m/48572160.html
http://www.xiaofengyu.cn/m/66663120.html
http://www.sliekd.cn/m/44114547.html
http://www.x2m8k4.cn/m/11540834.html
http://www.k3w6b9.cn/m/76262330.html
http://www.k3w6b9.cn/m/76162207.html
http://www.k3w6b9.cn/m/59490845.html
http://www.qlgyio.cn/m/48994856.html
http://www.qingmiaomiao.cn/m/50229279.html
http://www.t7a1q8.cn/m/79161493.html
http://www.huiju101.cn/m/25046559.html
http://www.ituf.cn/m/67465529.html
http://www.qlgyio.cn/m/51912443.html
http://www.xiaofengluo.cn/m/80951183.html
http://www.c7d4x3.cn/m/93296948.html
http://www.h1y5r7.cn/m/99383639.html
http://www.qlgyio.cn/m/49626771.html
http://www.jianlibang.cn/m/76368100.html
http://www.xvfahz.cn/m/60309321.html
http://www.ymwmxi.cn/m/38816318.html
http://www.ymwmxi.cn/m/49638367.html
http://www.tjyuce6.cn/m/96855616.html
http://www.qihss.cn/m/93488047.html
http://www.n2d8f4.cn/m/27764354.html
http://www.ituf.cn/m/85158633.html
http://www.s4v9e3.cn/m/38429475.html
http://www.xvfahz.cn/m/21411494.html
http://www.z6r3c7.cn/m/55625143.html
http://www.grkqvf.cn/m/48909781.html
http://www.bwtone.cn/m/18498409.html
http://www.poypwb.cn/m/39364923.html
http://www.youan66.cn/m/80502142.html
http://www.e8t2m5.cn/m/67792700.html
http://www.f6j3w8.cn/m/40552574.html
http://www.hygsk.cn/m/34612642.html
http://www.r4g7k2.cn/m/39081278.html
http://www.qingyani.cn/m/58793229.html
http://www.tjyuce168.cn/m/47099472.html
http://www.qihll.cn/m/46438707.html
http://www.p7q1z5.cn/m/24953263.html
http://www.youan66.cn/m/89220398.html
http://www.klunn.cn/m/32889970.html
http://www.fyghj.cn/m/31861158.html
http://www.d9n4t2.cn/m/43556141.html
http://www.zysvjr.cn/m/53611759.html
http://www.e8t2m5.cn/m/25213761.html
http://www.rspwu.cn/m/69593416.html
http://www.bwtone.cn/m/55409375.html
http://www.s4v9e3.cn/m/57381596.html
http://www.yyjkgg.cn/m/49227084.html
http://www.xiaofengluo.cn/m/72519737.html
http://www.w3s8a6.cn/m/36245454.html
http://www.xiaofengyu.cn/m/25900232.html
http://www.k3w6b9.cn/m/55409286.html
http://www.huiju101.cn/m/49449559.html
http://www.q1h9v4.cn/m/85998650.html
http://www.ituf.cn/m/28377816.html
http://www.suheqing.cn/m/87256157.html
http://www.rspwu.cn/m/76007309.html
http://www.qingmiaomiao.cn/m/68505404.html
http://www.x2m8k4.cn/m/27392451.html
http://www.c7d4x3.cn/m/76810548.html
http://www.klunn.cn/m/61510270.html
http://www.qingyani.cn/m/74753381.html
http://www.baizeycs.cn/m/53635458.html
http://www.qingmiaomiao.cn/m/89180409.html
http://www.huiju101.cn/m/48583817.html
http://www.z6r3c7.cn/m/87585396.html
http://www.kttjyhwy.cn/m/13906881.html
http://www.qingyani.cn/m/78278900.html
http://www.k3w6b9.cn/m/35498544.html
http://www.e8t2m5.cn/m/63536079.html
http://www.t7a1q8.cn/m/34615691.html
http://www.odteuz.cn/m/44425158.html
http://www.opqoas.cn/m/37344502.html
http://www.rspwu.cn/m/30067932.html
http://www.p7q1z5.cn/m/63622156.html
http://www.xajkyhs.cn/m/70649958.html
http://www.odteuz.cn/m/84655169.html
http://www.qingmiaomiao.cn/m/29055269.html
http://www.baizeycs.cn/m/44589311.html
http://www.f6j3w8.cn/m/70145144.html
http://www.xiaofengluo.cn/m/32550739.html
http://www.odteuz.cn/m/18648099.html
http://www.fyghj.cn/m/48177343.html
http://www.yyjkgg.cn/m/56015712.html
http://www.ituf.cn/m/77215028.html
http://www.lmncbx.cn/m/96843713.html
http://www.ymwmxi.cn/m/53042394.html
http://www.e8t2m5.cn/m/10476415.html
http://www.qihss.cn/m/96220125.html
http://www.xvfahz.cn/m/85697328.html
http://www.qihss.cn/m/82863845.html
http://www.jxcanzhang.cn/m/20650845.html
http://www.fyghj.cn/m/45613319.html
http://www.tjyuce8.cn/m/68437736.html
http://www.l5b1y9.cn/m/60689543.html
http://www.s4v9e3.cn/m/27230159.html
http://www.grkqvf.cn/m/79982812.html
http://www.tjyuce8.cn/m/94059571.html
http://www.sliekd.cn/m/17741262.html
http://www.zysvjr.cn/m/15627138.html
http://www.xvfahz.cn/m/75871945.html
http://www.s4v9e3.cn/m/88968474.html
http://www.tjyuce168.cn/m/85117424.html
http://www.c7d4x3.cn/m/42840925.html
http://www.q1h9v4.cn/m/57942344.html
http://www.t56985.cn/m/33444185.html
http://www.f6j3w8.cn/m/65880041.html
http://www.t56985.cn/m/39088880.html
http://www.tjyuce8.cn/m/85956318.html
http://www.xiaofengyu.cn/m/43418692.html
http://www.poypwb.cn/m/94486776.html
http://www.c7d4x3.cn/m/52639070.html
http://www.rylvyw.cn/m/26755389.html
http://www.biefengwo.cn/m/96074316.html
http://www.qingmiaomiao.cn/m/78420067.html
http://www.q1h9v4.cn/m/82255996.html
http://www.u9p5j1.cn/m/46575287.html
http://www.u9p5j1.cn/m/84651912.html
http://www.x2m8k4.cn/m/57059366.html
http://www.e8t2m5.cn/m/98771756.html
http://www.qingyani.cn/m/34099347.html
http://www.jxcanzhang.cn/m/57148572.html
http://www.rylvyw.cn/m/43925583.html
http://www.xuanyuewenhua1314.cn/m/84376469.html
http://www.qingyant.cn/m/54650557.html
http://www.h1y5r7.cn/m/49893487.html
http://www.grkqvf.cn/m/13544548.html
http://www.rspwu.cn/m/75310332.html
http://www.kythf.cn/m/56530331.html
http://www.fyghj.cn/m/29372580.html
http://www.klunn.cn/m/52022143.html
http://www.qlgyio.cn/m/56569877.html
http://www.h1y5r7.cn/m/78353912.html
http://www.x2m8k4.cn/m/84886301.html
http://www.b8c2l6.cn/m/78856853.html
http://www.rspwu.cn/m/91397340.html
http://www.lmncbx.cn/m/42241067.html
http://www.tjyuce168.cn/m/60657549.html
http://www.qihss.cn/m/53672458.html
http://www.d9n4t2.cn/m/11472305.html
http://www.xiaoniaohuichong.cn/m/39405832.html
http://www.suheqing.cn/m/21738478.html
http://www.xiaoniaohuichong.cn/m/88826537.html
http://www.e8t2m5.cn/m/74369122.html
http://www.lmncbx.cn/m/53262904.html
http://www.qlgyio.cn/m/22297251.html
http://www.baizeycs.cn/m/38408178.html
http://www.qihll.cn/m/71583106.html
http://www.zysvjr.cn/m/24505757.html
http://www.xuanyuewenhua1314.cn/m/65965741.html
http://www.w3s8a6.cn/m/54531017.html
http://www.r4g7k2.cn/m/12073953.html
http://www.t7a1q8.cn/m/88751130.html
http://www.suheqing.cn/m/62674479.html
http://www.l5b1y9.cn/m/13014795.html
http://www.grkqvf.cn/m/32964451.html
http://www.u9p5j1.cn/m/22344494.html
http://www.t56985.cn/m/23346978.html
http://www.h1y5r7.cn/m/40262429.html
http://www.sliekd.cn/m/86782235.html
http://www.rspwu.cn/m/60425154.html
http://www.odteuz.cn/m/70532066.html
http://www.jrpsna.cn/m/48902337.html
http://www.c7d4x3.cn/m/61353231.html
http://www.ymwmxi.cn/m/99173902.html
http://www.p7q1z5.cn/m/68533402.html
http://www.l5b1y9.cn/m/91995318.html
http://www.lmncbx.cn/m/45960554.html
http://www.hygsk.cn/m/33866772.html
http://www.xajkyhs.cn/m/24493253.html
http://www.tjyuce8.cn/m/33876855.html
http://www.x2m8k4.cn/m/23595954.html
http://www.xiaoniaohuichong.cn/m/28214600.html
http://www.t56985.cn/m/95319663.html
http://www.xajkyhs.cn/m/52359683.html
http://www.jianlibang.cn/m/17625849.html
http://www.gdiipxp.cn/m/21290900.html
http://www.l5b1y9.cn/m/22833045.html
http://www.k3w6b9.cn/m/53644071.html
http://www.tjyuce6.cn/m/75210645.html
http://www.qihll.cn/m/16238533.html
http://www.xiaofengyu.cn/m/66593783.html
http://www.kythf.cn/m/64287189.html
http://www.klunn.cn/m/34107205.html
http://www.g5m0x2.cn/m/22319553.html
http://www.lmncbx.cn/m/83815405.html
http://www.xvfahz.cn/m/73431950.html
http://www.qihll.cn/m/79660398.html
http://www.n2d8f4.cn/m/20878259.html
http://www.xuanyuewenhua1314.cn/m/52565094.html
http://www.biefengwo.cn/m/25828589.html
http://www.n2d8f4.cn/m/64420143.html
http://www.kttjyhwy.cn/m/53318331.html
http://www.bwtone.cn/m/73561920.html
http://www.yjkf568.cn/m/74192491.html
http://www.rspwu.cn/m/57338809.html
http://www.gdiipxp.cn/m/43765432.html
http://www.yyjkgg.cn/m/27875204.html
http://www.q1h9v4.cn/m/67176087.html
http://www.ymwmxi.cn/m/84474278.html
http://www.t7a1q8.cn/m/84635086.html
http://www.e8t2m5.cn/m/81605940.html
http://www.huiju101.cn/m/22188442.html
http://www.kythf.cn/m/11359039.html
http://www.n2d8f4.cn/m/77451199.html
http://www.xiaofengluo.cn/m/24461198.html
http://www.xiaofengyu.cn/m/65429244.html
http://www.xiaofengluo.cn/m/95539158.html
http://www.r4g7k2.cn/m/36360136.html
http://www.n2d8f4.cn/m/13197490.html
http://www.zysvjr.cn/m/35073876.html
http://www.w3s8a6.cn/m/85572430.html
http://www.kythf.cn/m/22127316.html
http://www.gdiipxp.cn/m/27561887.html
http://www.s4v9e3.cn/m/13288294.html
http://www.u9p5j1.cn/m/83092011.html
http://www.jianlibang.cn/m/88384907.html
http://www.qingyant.cn/m/85840089.html
http://www.grkqvf.cn/m/18087290.html
http://www.itoj.cn/m/45317037.html
http://www.xuanyuewenhua1314.cn/m/74506809.html
http://www.fyghj.cn/m/97385417.html
http://www.opqoas.cn/m/34825619.html
http://www.z6r3c7.cn/m/33090715.html
http://www.d9n4t2.cn/m/32767065.html
http://www.huiju101.cn/m/51262397.html
http://www.z6r3c7.cn/m/32366971.html
http://www.qingyant.cn/m/80276129.html
http://www.x2m8k4.cn/m/84770968.html
http://www.suheqing.cn/m/18064388.html
http://www.z6r3c7.cn/m/14048873.html
http://www.opqoas.cn/m/93873018.html
http://www.b8c2l6.cn/m/48551274.html
http://www.d9n4t2.cn/m/62539186.html
http://www.q1h9v4.cn/m/30961971.html
http://www.g5m0x2.cn/m/35359655.html
http://www.bwtone.cn/m/23522541.html
http://www.zysvjr.cn/m/20279841.html
http://www.b8c2l6.cn/m/87119500.html
http://www.hygsk.cn/m/80831951.html
http://www.itoj.cn/m/98827914.html
http://www.tjyuce8.cn/m/75459059.html
http://www.yjkf568.cn/m/35404490.html
http://www.yjkf568.cn/m/45828086.html
http://www.f6j3w8.cn/m/43548342.html
http://www.q1h9v4.cn/m/22293045.html
http://www.c7d4x3.cn/m/20670230.html
http://www.fyghj.cn/m/73596782.html
http://www.q1h9v4.cn/m/35757328.html
http://www.bwtone.cn/m/68213928.html
http://www.qihss.cn/m/40326926.html
http://www.ymwmxi.cn/m/64499232.html
http://www.h1y5r7.cn/m/34212125.html
http://www.h1y5r7.cn/m/59399137.html
http://www.gdiipxp.cn/m/40045285.html
http://www.tjyuce6.cn/m/65916480.html
http://www.z6r3c7.cn/m/55666535.html
http://www.b8c2l6.cn/m/23961349.html
http://www.jrpsna.cn/m/62169545.html
http://www.t56985.cn/m/20568212.html
http://www.xiaoniaohuichong.cn/m/17826381.html
http://www.xiaofengluo.cn/m/76822826.html
http://www.kythf.cn/m/47594919.html
http://www.sliekd.cn/m/29253053.html
http://www.xvfahz.cn/m/97083613.html
http://www.xajkyhs.cn/m/17847409.html
http://www.huiju101.cn/m/96387434.html
http://www.hygsk.cn/m/79423855.html
http://www.xhpxad.cn/m/36409124.html
http://www.zysvjr.cn/m/91574015.html
http://www.k3w6b9.cn/m/67758223.html
http://www.xiaofengyu.cn/m/27512200.html
http://www.qihss.cn/m/11422683.html
http://www.xajkyhs.cn/m/41329499.html
http://www.baizeycs.cn/m/22226622.html
http://www.d9n4t2.cn/m/92717065.html
http://www.odteuz.cn/m/93027596.html
http://www.g5m0x2.cn/m/91059296.html
http://www.u9p5j1.cn/m/14324665.html
http://www.qlgyio.cn/m/47154467.html
http://www.klunn.cn/m/50612648.html
http://www.jianlibang.cn/m/40389137.html
http://www.suheqing.cn/m/48535844.html
http://www.yyjkgg.cn/m/33027620.html
http://www.poypwb.cn/m/25482881.html
http://www.w3s8a6.cn/m/59341623.html
http://www.jrpsna.cn/m/10086466.html
http://www.p7q1z5.cn/m/76853035.html
http://www.xajkyhs.cn/m/59506199.html
http://www.f6j3w8.cn/m/57295750.html
http://www.odteuz.cn/m/65735841.html